多轴传感器及其制作方法、差分的传感器系统技术方案

本发明专利技术提供一种多轴传感器，包括：衬底；固定于衬底之上的质量块支撑；第一传感器的第一惯性质量块以及第二传感器的第二惯性质量块位于衬底之上且与衬底分隔开，所述第一惯性质量块包围第二惯性质量块且与第二惯性质量块间具有间隔；所述质量块支撑位于所述间隔内；所述第一惯性质量块通过第一弹性结构连接至所述质量块支撑，所述第二惯性质量块通过第二弹性结构连接至所述质量块支撑。通过各自的弹性结构连接到共同的质量块支撑上，减少了质量块支撑的分布和设计，有利于简化与其他连线层电连接，减小了连线布局的面积，同时，质量块支撑可以使第一惯性质量块和第二惯性质量块在机械上实现隔离，保证了各自独立移动，避免了交叉轴效应。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及MEMS
，特别涉及一种多轴传感器及其制作方法、差分的传感器系统。
技术介绍
MEMS (Micro Electromechanical System，微电子机械系统)是集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。近年来， MEMS加速度传感器在汽车电子、消费电子和工业电子领域逐渐取代传统的机械量传感器， 具有广阔的市场前景。相对于传统的机械量传感器，MEMS加速度传感器的尺寸更小，控制精度更高，制作工艺可以与硅集成电路技术兼容，因而其性价比大幅度提高。目前，最广泛应用的加速度传感器为电容性加速度传感器，其制造成本低、尺寸较小，主要由电容结构和惯性质量块组成，其主要利用了加速度作用下电容变化的原理，当衬底向某个方向移动时，惯性质量块的移动使电容结构的电容发生变化，例如使电容结构的电极间的距离发生变化，这些变化被读取后可以被转化为加速度的信号。根据加速度传感器测量应用的不同需求，可以设计为用来测试沿一个轴、两个轴或三个轴的方向上的加速度，通常将测量相对于衬底的三个相互垂直方向的加速度的传感器分别称作X轴、Y轴和Z轴加速度传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：柳连俊，
申请(专利权)人：迈尔森电子天津有限公司，
类型：发明
国别省市：