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本发明提供一种多轴传感器，包括：衬底；固定于衬底之上的质量块支撑；第一传感器的第一惯性质量块以及第二传感器的第二惯性质量块位于衬底之上且与衬底分隔开，所述第一惯性质量块包围第二惯性质量块且与第二惯性质量块间具有间隔；所述质量块支撑位于所述间...
该专利属于迈尔森电子(天津)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈尔森电子(天津)有限公司授权不得商用。

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