检验基板的方法技术

本发明专利技术公开了一种检验基板的方法。该检验基板的方法包括：使多个投射部依次将图案光束投射在形成有目标物的基板上，以获得与所述基板有关的每个投射部的相位数据；利用所述每个投射部的相位数据来获得与所述基板有关的每个投射部的高度数据；将所述多个投射部中可靠性最高的投射部设为基准投射部；以所述基准投射部的高度数据为基准来修正其余投射部的高度数据；以及利用修正后的高度数据获得整合高度数据。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，或者更具体而言，涉及能够使检验安装在基板上的部件状态的处理的可靠性得到提高的。
技术介绍
通常，在将电子器件安装在基板上之前和之后，需要执行检验处理，以对安装有电子器件的基板的可靠性进行检验。例如，在将电子器件安装在基板上之前检验基板的焊点区域，以便检验用于将电子器件安装在基板上的焊料的状态，并且在将电子器件安装在基板上之后检验电子器件的状态，以检验电子器件安装得是否适当。近来，已经在使用一种利用检验三维形状的装置来检验目标(对象)物的三维形状的，该检验三维形状的装置包括采集目标物图像的照相机以及多个投射部，各个投射部包括光源和将图案光投射在目标物上的光栅。为了检验目标物的三维形状，需要获取目标物的高度数据。通过将基板的背景区域设为基准来计算目标物的高度。然而，基板的背景区域包括噪声，从而难以获得可靠的高度数据。此外，在一些情况下，多个目标物密集地布置，因此背景区域的数据量可能不足，或者背景区域的数据量可能因阴影区域而不足。尤其，当目标物为具有高度的电子器件时，电子器件可能会产生阴影，从而使可靠的背景区域数据量不足。结果，降低了目标物高度的可靠性。
技术实现思路
因此，本专利技术示例性实施例提供这样一种即使由多个投射部获得的背景区域的数据量不足，该方法也能够通过用目标物区域和背景区域修正高度数据来提高整合高度数据的可靠性。此外，本专利技术示例性实施例提供一种能够通过将由多个投射部获得的多个高度数据整合来提高整合高度数据可靠性的。此外，本专利技术示例性实施例提供这样一种该方法能够通过选择可靠性最高的投射部并且以该可靠性最高的投射部的高度数据为基准修正其余投射部的高度数据来提高整合高度数据的可靠性。此外，本专利技术示例性实施例提供这样一种该方法能够通过以基板的背景区域和检验区域中变化最小的区域为基准修正每个投射部的高度数据来提高整合高度数据的可靠性。本专利技术的其它特征将在以下描述中进行说明，并且部分特征能通过以下描述容易地理解到，或者能通过实践本专利技术而获悉。本专利技术示例性实施例公开了一种，包括使多个投射部依次将图案光束投射在形成有目标物的基板上，以获得与所述基板有关的每个投射部的相位数据； 利用所述每个投射部的相位数据来获得与所述基板有关的每个投射部的高度数据；将所述多个投射部中可靠性最高的投射部设为基准投射部；以所述基准投射部的高度数据为基准来修正其余投射部的高度数据；以及利用修正后的高度数据获得整合高度数据。例如，在将所述多个投射部中可靠性最高的投射部设为所述基准投射部的步骤中，可以利用以高度、信噪比(SNR)、幅值、平均强度作为参数的可见度信息和灰度信息中的至少一个来评估可靠性。例如，以所述基准投射部的高度数据为基准来修正其余投射部的高度数据的步骤可以包括以所述基准投射部的高度数据为基准获得关于其余投射部的高度数据的高度偏差；以及用其余投射部的高度数据中的每个高度数据减去所述高度偏差。所述高度偏差可以利用背景区域和所述目标物的上部区域中的至少一个区域来获得。例如，所述方法还可以包括在获得所述每个投射部的高度数据的步骤之前，将所述基板划分成背景区域和形成有目标物的目标物区域；将所述背景区域中的频数最大的相位数据设定为与各个投射部有关的表现背景相位；以及对所述每个投射部的相位数据进行变换，以使与各个投射部有关的表现背景相位变为O。本专利技术的另一个示例性实施例公开了一种，包括使多个投射部依次将图案光束投射在形成有目标物的基板上，以获得与所述基板有关的每个投射部的相位数据；利用所述每个投射部的相位数据来获得与所述基板有关的每个投射部的高度数据；将所述多个投射部中可靠性最高的投射部设为基准投射部；以所述目标物的上部区域为基准相对于所述基准投射部的高度数据修正其余投射部的高度数据；以及利用以所述目标物的上部区域为基准而修正的高度数据来获得整合高度数据。例如，在将所述多个投射部中可靠性最高的投射部设为基准投射部的步骤中，利用以高度、信噪比(SNR)、幅值、平均强度作为参数的可见度信息和灰度信息中的至少一个来评估可靠性。例如，所述方法还可以包括在获得所述每个投射部的高度数据的步骤之前，将所述基板划分成背景区域和形成有目标物的目标物区域；将所述背景区域中的频数最大的相位数据设定为与各个投射部有关的表现背景相位；以及对所述每个投射部的相位数据进行变换，以使与各个投射部有关的表现背景相位变为O。例如，获得所述整合高度数据的步骤可以包括以所述基板的背景区域为基准再次修正所述每个投射部的高度数据。根据该，将利用多个投射部获得的多个高度数据整合，以获得目标物的整合高度数据。因此，提高了整合高度数据的可靠性。此外，即使当多个目标物密集布置而导致背景区域不足时，也能利用目标物区域和背景区域的数据来提高整合高度数据的可靠性。此外，即使因噪声数据、目标物区域而导致利用多个投射部获得的背景区域的数据不足时，也能利用目标物区域和背景区域的数据来提高整合高度数据的可靠性。此外，即使因诸如阴影区域等不可测量区域而导致利用多个投射部获得的背景区域的数据不足时，也能利用目标物区域和背景区域的数据来提高整合高度数据的可靠性。此外，在修正利用多个投射部获得的测量数据时，利用每个投射部的高度数据来修正测量数据，以使基板的所有区域均可以用作用于进行修正的基准区域。因此，与仅利用5背景区域的相位数据的情况相比，可以增加数据量，从而提高了每个投射部的相位数据或者每个投射部的高度数据的可靠性。此外，在修正每个投射部的高度数据时，以可靠性最高的投射部的高度数据为基准来修正其余投射部的高度数据，以提高整合高度数据的可靠性。此外，通过以与背景区域相比高度变化较小的所述目标物的上部区域为基准修正每个投射部的高度数据来提高整合高度数据的可靠性。应该理解，上文的概述和下文的详述是为了进行举例说明，并且是想参照权利要求书对本专利技术作进一步的解释。附图说明附图示出了本专利技术的实施例，用于更充分地理解本专利技术且被纳入说明书中以构成说明书的一部分，并且与下文中的描述一起说明本专利技术的原理。图I是示出基板检验装置的示意图。图2是示出根据本专利技术示例性实施例的流程图。图3A和图3B分别是示出形成有目标物的基板的剖视图和平面图。图4A和图4B分别示出了与第一投射部CHl和第二投射部CH2对应的高度数据。图5示出了图4A和图4B中的高度数据均得到修正时的高度数据。图6A至图6H示出了根据本专利技术示例性实施例生成基板的整合高度数据的处理。具体实施例方式下面参考附图更全面地描述本专利技术，其中附图中示出了本专利技术的实施例。然而，本专利技术可以用很多不同的方式来实现，而不能认为限于本文中所提到的实施例。实际上，提供这些实施例是为了使公开充分，并且向本领域的技术人员充分地传达本专利技术的范围。为清晰起见，附图中可能放大某些层和区域的尺寸和相对尺寸。在附图中用相似的附图标号表示相似的部件。下面，将参考附图详细说明本专利技术。图I是示出基板检验装置的示意图。参考图1，根据本专利技术示例性实施例的基板检验装置100包括架部140，其支撑并传送形成有目标物的基板150 ;多个投射部110，其将图案光投射在基板150上；以及照相机130，其采集(拍摄)基板150的图像。可选地，基板检验装置100还可以包括照明部 120，照明部120布置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑仲基，
申请(专利权)人：株式会社高永科技，
类型：发明
国别省市：