基板保持装置和基板检验装置制造方法及图纸

在台架（１）上利用起重器（１９）的伸缩动作能够使基板支架（５）在升起方向上进行摇动，若通过摇动使基板支架（５）升起，则基板支架（５）在直线导向器（１５）的铰链（１０）上所设置的移动块（１４）上进行滑动，从基座（３）的边缘部分（１１）向前方推出，同时使基板支架（５）的作为下端侧的边缘从台架（１）的基座（３）的边缘部分（１１）向下降低。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板保持装置和利用该基板保持装置的基板检验装置，该基板保持装置在检验例如大屏幕液晶显示器(以下简称为LCD)、等离子显示板(以下简称为PDP)等的平板显示器(以下简称为FPD)等玻璃基板的缺陷时保持玻璃基板并进行摇动。近几年，在LCD和PDP这种FPD领域，要求增大画面和降低成本。为了满足这些要求，在FPD制造工序中，增加玻璃基板的分割划片数量，出现其尺寸日益增大的趋势。玻璃基板的尺寸，例如出现了1250×1100mm的大型尺寸。对在这种FPD制造工序中制造的大型玻璃基板进行基板检验。基板检验的一种方法是并用宏观检验和微观检验。宏观检验是把照明光照射到玻璃基板上，对在玻璃基板上反射的光进行目视观察。微观检验是利用显微镜来放大观察经宏观检验而确定的缺陷部分。这种基板检验装置，其技术例如日本专利特开平11-160242号公报所述。该公报中记述了具有能够使玻璃基板升起到进行保持的规定角度的支架，当宏观检验时把玻璃基板放在支架上，通过使支架上升，使玻璃基板面向观察者向升起，用目视进行宏观检验，或者，使支架面向观察者在前后方向上进行摇动，用目视进行宏观检验。在微观检验时使支架返回到原状，使玻璃基板保持水平状态，用微观观察系统来放大观察缺陷部分。但是，当宏观检验时，由于以其下边为中心使支架向上升起，所以，若被检验的玻璃基板大型化，升起时的大型玻璃基板的上端部分高于观察者的眼睛位置。因此，从观察者的眼睛到大型玻璃基板的上端部的距离增大，很难看得见大型玻璃基板的上端部分。并且，使大型玻璃基板升起来时的大型玻璃基板的上端部分处于较高的位置上，所以，为了使大型玻璃基板进行摇动，必须有较高的空间。因此使整个设备体积增大。
技术实现思路
按照本专利技术的主要观点，可提供这样的基板保持装置，具有台架；基板支架，设置在所述台架上，用于保持大型基板；以及摇动机构，使基板支架在台架上可向水平状态或基板支架的升起方向进行摇动，若使基板支架升起，则通过该升起使作为上述基板支架的下端的边缘下降到上述台架上表面的边缘部分以下。按照本专利技术的主要观点，可以提供这样的基板保持装置，具有宏观照明装置，该宏观照明装置设置在基板支架的上方，用于使宏观照明光照射到大型基板上，该大型基板保持在由摇动机构使其升起或摇动的基板支架上。附图说明图1是表示涉及本专利技术的基板保持装置的第1实施方式的结构图。图2是表示涉及本专利技术的基板保持装置的第1实施方式的基板支架的正视图。图3是表示涉及本专利技术的基板保持装置的第1实施方式的铰链部分的放大图。图4是表示涉及本专利技术的基板保持装置的第1实施方式的基板支架的升起动作的示意图。图5是表示涉及本专利技术的基板保持装置的第2实施方式的结构图。图6是表示涉及本专利技术的基板保持装置的第2实施方式的另一方向摇动机构的结构图。图7是表示涉及本专利技术的基板保持装置的第2实施方式的基板支架的摇头方向上摇动的示意图。以下参照附图，详细说明本专利技术的第1实施方式。图1是适用本专利技术的基板保持装置的基板检验装置的剖面结构图。台架1由支柱2和设置在该支柱2上的基座3构成。在该基座3上，设置了用于保持大型玻璃基板4的基板支架5。该基板支架5的水平状态的高度设定为传送机械手的传递高度。基座3的上表面设置成水平状态。在基座5上，如图2所示形成了开口部6。在该开口部的各个边上设置了用于决定大型玻璃基板4的基准位置的各个基准销7、带有辊轮的基准销8、以及推压销9。推压销9设置成能够在把大型玻璃基板4推压到基准销7一侧的方向上移动。基板支架5设置成通过以下说明的摇动机构(作为摇动支点的铰链10、作为推出机构的直线导向器15、连杆机构17)能够以铰链10为摇动轴、且相对于基座3的上表面进行摇动。其摇动方向是使基板支架5升起或返回到水平状态(箭头A方向)。从正面观看基板保持装置时，铰链10分别设置在基座3的两端。在基座3上表面的正面侧的边缘部分11的两端上，如图3所示分别设置了各铰链支承构件12。在该铰链支承构件12上分别设置可转动自如的各个铰链10。为了使基板支架5在升起或返回到水平状态的方向(箭头A方向)上摇动，从正面看，该铰链10的转动轴13设置在水平方向(Y方向)上。在铰链10上设置了移动块14。在该移动块14上形成与设置在基板支架5背面的直线导向器15相嵌合的滑动用沟槽16。当使基板支架5升起时，直线导向器15在滑动用沟槽16内进行滑动，把基板支架5向正面侧推出。通过铰链10，以转动轴13为支点使基板支架5摇动。这样，基板支架5的下端下降到低于基座3上表面的边缘部分11的位置，由直线导向器15和铰链10来构成推出机构。直线导向器15分别设置在基板支架5背面的两端，安装在基座3两端的各移动块14上所形成的各滑动用沟槽16内。在使基板支架5升起时，这些直线导向器15在滑动用沟槽16内滑动，把基板支架5推出到正面侧，而且，为了使基板支架5的下端即边缘下降到低于基座3上表面的边缘部分11的位置，该直线导向器15需要形成足够长度、例如从基板支架5的下端起到中央部稍稍向上为止。在该直线导向器15的上端设置了止动器15a。设置该止动器15a的目的是限制基板支架5的倾斜，以免基板支架5在升起时其倾斜度超过预先设定的最大倾斜角度。连杆机构17使基板支架5在基座3上，在水平状态或升起方向上进行摇动。该连杆机构17由连杆18和起重器19构成。连杆18形成固定的长度。该连杆18设置在从基座3向下方延伸的延伸端部20和设置在基板支架5的下部的支承构件21之间。该连杆18能够相对于延伸端部20和支承构件21分别以各支点22、23进行转动。起重器19具有伸缩杆19a，该起重器19设置在连杆18中的支承构件21侧和支柱2的水平梁2a之间。该起重器19的连结状态是，能使伸缩杆19a的前端以支点24为中心相对于连杆18进行转动。起重器19的下端连结成能以支点25为中心相对于水平梁2a进行转动。从正面侧观看基板保持装置，连杆机构17分别设置在基板支架5的两端。所以，若起重器19的伸缩杆19a伸长，则该起重器19的伸缩杆19a的前端向上推连杆18的支承构件21侧。这时起重器19的另一端设置在支柱2的水平梁2a上，而且，连杆18的长度是固定的。连杆18依靠起重器19的伸缩杆19a的伸长而以支点22为中心进行转动。若该连杆18以支点22为中心进行转动，则支点23以连杆1为半径在圆弧上移动。这时，连杆18两端的各支点22、23的间隔和连杆18的支点22与铰链10的转动轴13之间的间隔被固定，连杆18的支点23和铰链10的转动轴13之间的间隔发生变动。由此，若考察由各支点22、23和铰链10这3点构成的三角形，随着连杆18以支点22为中心进行转动，支点23和铰链10的间隔随之逐渐缩短。然而，若随着连杆18的转动、支点23和铰链10的间隔随之缩短，则基板支架5在直线导向器15上向正面侧滑动，基板支架5的下端即边缘被推出到比基座3上表面的边缘部分11还靠近正面侧的位置。随着起重器19的伸缩杆19a的伸长量增大，连杆18的转动量增加。并且，随着基板支架5的升起角度增大，基板支架5的下端即边缘从基座3上表面的边缘部分11向外推出的量增加。这样，若基板支架5的升起角度增大，则基板支架5的下端即边缘的推出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板保持装置，其特征在于，具有：台架；基板支架，设置在所述台架上，用于保持大型基板；以及摇动机构，使基板支架在台架上可向水平状态或基板支架的升起方向进行摇动，若使基板支架升起，则通过该升起使作为上述基板支架的下端 的边缘下降到上述台架上表面的边缘部分以下。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安田守，藤崎畅夫，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]