显示器件的检验基板制造技术

为了能使容易地用阵列测试器检测电气缺陷，本检验基板包括：多条扫描线和多条信号线；与扫描线平行配置的多条存储电容器线；存储电容器元件，其每一个用一部分存储电容器线作为它的电极之一；与信号线的层相同的层形成的并电连接到存储电容器元件的存储电容器上电极；配置在扫描线和信号线的交点上并电连接到存储电容器元件的开关元件；通过使用构成开关元件的电极的两种金属中的至少一种形成的并电连接到扫描线、信号线、存储电容器线和存储电容器上电极中任一种的假布线。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于检测显示器件的阵列式基板中的布线缺陷、故障点等的检验基板。相关技术描述近年来，虽然是高密度和大容量但能高清晰度显示的高功能液晶显示装置的商用化已取得进展。在这种液晶显示器中经常使用一种有源矩阵型液晶显示器件。有源矩阵型液晶显示器件包括阵列式基板，其中由互相交叉的多条扫描线和多条信号线各别地分隔的每个区被确定为像素，为每个像素配置开关元件、像素电极等。在有源矩阵型液晶显示器件中，相邻像素之间的交扰小，得到高对比度显示，使能反射式显示，其面积放大也容易。在有源矩阵型液晶显示器件中，随着其清晰度的提高，布线和接触孔的微处理变得必不可少，并已要求保持高的工艺级别。因此，近年来，已经制造出其中只在阵列式基板中提供布线的工艺级芯片(以下称为“PL芯片”)，PL芯片中布线的状态用测试器进行电测量，或用缺陷检查装置进行光学评估。此外，也对实际阵列式基板用阵列测试器检验其电路缺陷，分析其故障，达到工艺级别的管理和改进。但根据上述方法存在的问题是，PL芯片中所检测的缺陷不总是与阵列式基板上的缺陷相一致，而且在认为是阵列式基板中的缺陷时却没有在PL芯片中检测到。而且，根据上述方法在PL芯片中能检测的缺陷仅限于在平面布线图案上和外观上观察到的异常的缺陷。因此问题是对阵列式基板的评估必须同时用于对器件特性包括开关元件和接触孔的特性的评估。此外，在用阵列测试器检验阵列式基板的情况下，其缺陷检测能力是不足的，在一些取决于缺陷类型的情况下不能确定发生缺陷的位置。因此问题是不能有效地实施工艺级的管理与改进。参看图1和图2来说明这一点。图1是一例PL芯片中布线图案的平面图。图2是具有接触链结构的布线图案的平面图。图1中形成金属薄膜制成的弯曲布线181，其两端分别接电极焊接点183a和183b。为检测弯曲布线181的断裂，在两电极焊接点183a和183b间加上电压，并监视有否电流流过。无电流时，弯曲布线181中出现断裂。图2中形成有接触链结构的弯曲布线191，其中配置多个布线，其用交替地安排第一金属193和第二金属195形成并用接触孔197互相电连接各金属的端头。电极焊接点199a和199b连接到接触链结构的两个端头上。为检测弯曲布线191的断裂，在两电极焊接点199a和199b间加上电压，并监视有否电流流过。无电流时，弯曲布线191出现断裂。但是，在两种情况中如在布线的外观上未看到异常，就不能确定发生断裂的位置。此外，近年来在生产线中使用一种管理缺陷的发生率和失效的状态的方法，其做法是在生产线中制造只为检验配置各种线和空间(L/S)的工艺级芯片，并用测试器电测或用缺陷检查装置光学方式评估该工艺级芯片。利用阵列测试器的电方式缺陷检查中，用实际的阵列式基板作为检验基板，阵列测试器的各检测针接到阵列式基板上的各信号线，从而实施测量。测量中阵列式基板上各像素的开关元件被开通，此后，电荷通过各信号线存储到各像素的存储电容器，通过阵列测试器的检测针测量所存储的电荷量。通过对取得的测量结果实施缺陷分析，检测各像素的存储电容器中所存储的电荷量的漏电缺陷、开关元件的特性异常、布线的短路/断裂缺陷等等。根据检测结果，管理和改进生产线的工艺水平。但是，用阵列测试器得到的检测结果中，要检查的存储电容器越小，就有关的该阵列测试器而言，由寄生电容引起的噪声影响就越大。一般来说，当存储电容器离开各信号线的馈电端移动，寄生电容的影响越大，因而，输出结果以沿信号线方向对其施加梯度的状态被输出。而且，通常同时处理约200条信号线，存在的问题是由于阵列测试器的各检测针对输入信号的灵敏度变化，输出结果为信号线间的条纹不均匀性。此外，存在的问题是因为，由于每条信号线的寄生电容和阵列测试器的检测针对输入信号灵敏度变化的影响，即使存在像素的开关元件的特性异常有时也不能检测出不正常的像素，因此不能正确地评估工艺级芯片。同时用阵列测试器检验缺陷，只能测量各像素的电气特性。因此，为确定缺陷类型，如所检测的缺陷为短路或断路，就必需结合使用光学外观检查装置的图案检验。
技术实现思路
本专利技术的一个目的在于提供能容易地检测电缺陷的显示器件的检验基板。本专利技术的另一个目的在于能为校正阵列测试器的检测结果提供检验数据的检验基板，所述检测结果受到每条信号线的寄生电容和各检测针对输入信号的灵敏度变化的影响。本专利技术的又一个目的在于不论每条信号线的寄生电容或各检测针对输入信号的灵敏度变化的影响，能为检测开关元件的特性方面异常的像素提供检验数据的检验基板。本专利技术的再一个目的在于不论每条信号线的寄生电容或各检测针对输入信号的灵敏度变化的影响，能对确实检测的缺陷如短路和断裂提供检验数据的检验基板。根据第一专利技术的显示器件的检验基板的特征在于，检验基板包括多条扫描线和多条信号线，配置成互相交叉；与扫描线一起列阵的多条存储电容器线；存储电容器元件，每个利用一部分存储电容器线作为其电极之一；存储电容器上电极，由与信号线的层相同的层形成，并电连接到存储电容器元件上；开关元件，配置在信号线和扫描线的交点上并电连接到存储电容器元件；以及利用至少两种构成开关元件电极的金属中的一种形成的假布线(dummy wiringline)，并电连接到扫描线、存储电容器线、信号线以及存储电容器上电极中的任一个。根据本专利技术，在检验基板上提供多条扫描条、信号线、存储电容器线、存储电容器元件、存储电容器上电极、开关元件和假布线，假布线电连接到扫描线、信号线、存储电容器线、和存储电容器上电极中的任一条。这样，可增大检验基板中各布线间出现短路的概率，可通过用阵列测试器测量假布线的电压来容易地检测布线的短路。因此，根据发生的有关短路的故障，可预测易发生短路故障的在哪些部分或哪些布线。根据预测的结果可掌握工艺过程的性能，此外使该结果反馈至生产线，因而可增加产量。具体说，可同时将检查工艺级的功能提供给检验基板，可用阵列测试器同时评估器件性能和工艺水平。第二专利技术的特征在于，由信号线、扫描线、存储电容器线、存储电容器上电极、开关元件以及假布线形成的布线区大于不存在任何布线的非布线区。这样，布线密度可做得高，可增大各布线间发生短路的概率，并可容易地用阵列测试器检测短路。第三专利技术的特征在于，由与扫描线和存储电容器线的层相同的金属层形成的假布线配置在存储电容器线和通过延伸使用构成开关元件的两种金属之一的下电极形成的扫描线之间。根据本专利技术，通过测量假布线的电压可容易地检验扫描线和存储电容器线之间的短路。根据第三专利技术的第四专利技术的特征在于，假布线电连接到信号线。这样，用与在扫描线和存储电容器线之间的扫描线和存储电容器线相同的层提供假布线，以及假布线连接到信号线。因而，通过测量假布线的电压，可检查扫描线和存储电容器线之间的短路，并确定短路点。具体说，当短路发生在扫描线和与扫描线平行配置的存储电容器之间时，借助阵列测试器虽可简单地检测短路作为线路缺陷，但不能确定短路发生在布线的哪一部分。与此相反，根据本专利技术，与扫描线和存储电容器线的层相同的金属层形成的假布线连接到信号线上。扫描线和存储电容器线之间的短路成为通过假布线和信号线的交叉短路，根据有关信号线的位置可确定已经发生短路的点。根据第三专利技术的第五专利技术的特征在于，显示器件的检验基板进一步包括通过延伸使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示器件的检验基板，其特征在于，包括：多条扫描线和多条信号线，配置成互相交叉；与扫描线一起列阵的多条存储电容器线；存储电容器元件，每个利用一部分存储电容器线作为其电极之一；存储电容器上电极，由与信号线的层 相同的层形成，并电连接到存储电容器元件；开关元件，配置在信号线和扫描线的交点上并电连接到存储电容器元件；以及利用构成开关元件电极的两种金属中的至少一种形成的假布线，并电连接到扫描线、存储电容器线、信号线以及存储电容器上电极中 的任一个。

【技术特征摘要】
JP 2004-5-28 2004-158796;JP 2004-12-16 2004-3649641.一种显示器件的检验基板，其特征在于，包括多条扫描线和多条信号线，配置成互相交叉；与扫描线一起列阵的多条存储电容器线；存储电容器元件，每个利用一部分存储电容器线作为其电极之一；存储电容器上电极，由与信号线的层相同的层形成，并电连接到存储电容器元件；开关元件，配置在信号线和扫描线的交点上并电连接到存储电容器元件；以及利用构成开关元件电极的两种金属中的至少一种形成的假布线，并电连接到扫描线、存储电容器线、信号线以及存储电容器上电极中的任一个。2.如权利要求1所述的显示器件的检验基板，其特征在于，由信号线、扫描线、存储电容器线、存储电容器上电极、开关元件以及假布线形成的布线区大于不存在任何布线的非布线区。3.如权利要求1所述的显示器件的检验基板，其特征在于，由与扫描线和存储电容器线的层相同的金属层形成的假布线配置在存储电容器线和通过延使用构成开关元件的两种金属之一的下电极形成的扫描线之间。4.如权利要求3所述的显示器件的检验基板，其特征在于，假布线电连接到信号线。5.如权利要求3所述的显示器件的检验基板，其特征在于，进一步包括通过延伸使用构成开关元件的两种金属之一的上电极形成的信号线；和通过延伸存储电容器上电极形成的假布线，其中互相邻接地配置信号线、假布线和存储电容器上电极。6.如权利要求3所述的显示器件的检验基板，其特征在于，进一步包括通过延伸开关元件的上电极形成的信号线；通过延伸存储电容器上电极形成的假布线；和虚拟电极，其中互相邻接地配置信号线、假布线、虚拟电极和存储电容器上电极。7.如权利要求6所述的显示器件的检验基板，其特征在于，虚拟电极电连接到扫描线。8.如权利要求7所述的显示器件的检验基板，其特征在于，虚拟电极和存储电容器上电极的大小是预定的大小或以上，在信号线的一部分中提供具有预定宽度或以上的区域可用作接触焊接点。9.一种显示器件的检验基板，其特征在于，包括多条扫描线和多条信号线，配置成互相交叉；与扫描线平行配置的多条存储电容器线；存储电容器元件，每个利用一部分存储电容器线作为其电极之一；存储电容器上电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：飯塚哲也，山本光浩，田畠弘志，
申请(专利权)人：东芝松下显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]