一种调温效果更好的三氯氢硅合成炉制造技术

一种调温效果更好的三氯氢硅合成炉，属于化工生产设备技术领域，目的是更好的稳定炉温，使炉内化学反应平衡稳定，其技术方案是：它由储油罐、油泵、油加热器、废热锅炉、合成炉组成，合成炉内的热反应交换管路内灌输有导热油，合成炉的热反应交换管路的出油口通过输送管路与储油罐相连接，储油罐通过输油管路与油泵、油加热器、废热锅炉依次连接，输送管路中的导热油通过废热锅炉后通过输油管路连接到合成炉的热反应交换管路的进油口。本实用新型专利技术利用导热油带走合成炉内的热量，稳定炉温，稳定化学反应平衡，具有加热均匀、调温控制准确、传热效果好、在低蒸汽压下产生高温等优点，实现了三氯氢硅合成炉的加热和冷却控制。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种调温效果更好的三氯氢硅合成炉
本技术涉及一种生产三氯氢硅合成炉，属于化工生产设备
技术背景三氯氢硅是生产多晶硅的重要原料，随着多晶硅在现代科技、国防、工业等领域的广泛应用，三氯氢硅的生产也得到了快速发展，提高产品质量、降低成本消耗、扩大生产能力成为各个生产厂家竞相追逐的目标。在三氯氢硅生产过程中，三氯氢硅合成炉基本都采用利用热水带走合成炉内硅粉与氯化氢反应产生的热量的方法稳定炉温，来达到稳定化学反应平衡的目的，促使反应炉内多生成主产品三氯氢硅少生成副产品四氯化硅。但是用水导热存在热传导变化快，导致加热不够均勻、调温精确度较差等缺点，在目前各个企业不断追求生产的稳定性、可控性和生产效率情况下，有必要对三氯氢硅合成炉稳定炉温的方法进行改进。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种加热均勻、调温控制准确、传热效果好、控制容易的调温效果更好的三氯氢硅合成炉。解决上述技术问题的技术方案是一种调温效果更好的三氯氢硅合成炉，它由储油罐、油泵、油加热器、废热锅炉、废热锅炉旁通、合成炉组成，合成炉内的热反应交换管路内灌输有导热油，合成炉的热反应交换管路的出油口通过输送管路与储油罐相连接，储油罐通过输油管路与油泵、油加热器、废热锅炉依次连接，输送管路中的导热油通过废热锅炉后通过输油管路连接到合成炉的热反应交换管路的进油口。导热油在工作过程中，有可能需要提高炉温，以达到稳定炉温，稳定化学反应平衡的目的。在这种情况下，要开启油加热器3对导热油进行加热，加热后的导热油通过废热锅炉旁通管路进入合成炉热反应交换管路的进油口，实现提高炉温的目的。上述调温效果更好的三氯氢硅合成炉，所述的油泵为两台。本技术的有益之处在于由于导热油具有热容量大的特点，本技术利用导热油带走合成炉内硅粉与氯化氢反应产生的热量的方法稳定炉温，达到稳定化学反应平衡的目的，具有加热均勻、调温控制准确、传热效果好、在低蒸汽压下产生高温等优点，实现了三氯氢硅合成炉的加热和冷却控制，同时废热锅炉还可以利用反应热连续稳定地产出蒸汽，节约了能源，提高了经济效益。附图说明图1是本技术的结构示意图。图中标记如下储油罐1、油泵2、油加热器3、废热锅炉4、合成炉5、进油口 6、出油口 7、废热锅炉旁通8。具体实施方式图中显示，本技术由储油罐1、油泵2、油加热器3、废热锅炉4、合成炉5组成。储油罐1通过输油管路与油泵2、油加热器3、废热锅炉4依次连接，合成炉5的热反应交换管路的出油口 7通过输送管路与储油罐1相连接，输送管路中通过废热锅炉4后连接到合成炉5的热反应交换管路的进油口 6。在储油罐1、输送管路、合成炉5内的热反应交换管路内灌输有导热油。导热油在合成炉5内将硅粉与氯化氢反应产生的热量从热反应交换管路中带走， 高温导热油进入储油罐1后通过油泵2、油加热器3到达废热锅炉4，高温导热油对废热锅炉4的水加热，产生蒸汽，同时高温导热油也失去热量，再通过输送管路通入合成炉5的热反应交换管路，完成一个热交换过程，然后再吸收反应热，如此连续不断地进行循环。权利要求1. 一种调温效果更好的三氯氢硅合成炉，其特征在于它由储油罐(1)、油泵(2)、油加热器(3)、废热锅炉(4)、合成炉(5)组成，合成炉(5)内的热反应交换管路内灌输有导热油， 合成炉(5)的热反应交换管路的出油口(7)通过输送管路与储油罐(1)相连接，储油罐(1) 通过输油管路与油泵(2)、油加热器(3)、废热锅炉(4)依次连接，输送管路中的导热油通过废热锅炉(4 )后通过输油管路连接到合成炉(5 )的热反应交换管路的进油口( 6 )。专利摘要一种调温效果更好的三氯氢硅合成炉，属于化工生产设备
，目的是更好的稳定炉温，使炉内化学反应平衡稳定，其技术方案是它由储油罐、油泵、油加热器、废热锅炉、合成炉组成，合成炉内的热反应交换管路内灌输有导热油，合成炉的热反应交换管路的出油口通过输送管路与储油罐相连接，储油罐通过输油管路与油泵、油加热器、废热锅炉依次连接，输送管路中的导热油通过废热锅炉后通过输油管路连接到合成炉的热反应交换管路的进油口。本技术利用导热油带走合成炉内的热量，稳定炉温，稳定化学反应平衡，具有加热均匀、调温控制准确、传热效果好、在低蒸汽压下产生高温等优点，实现了三氯氢硅合成炉的加热和冷却控制。文档编号C01B33/107GK202297157SQ201120411439公开日2012年7月4日 申请日期2011年10月26日 优先权日2011年10月26日专利技术者孙亮 申请人:唐山三孚硅业股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙亮，
申请(专利权)人：唐山三孚硅业股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：