高分辨率光谱仪及其光学定标方法技术

本发明专利技术提供了一种高分辨率光谱仪及其光学定标方法，其中高分辨率光谱仪为阿达玛变换光谱仪，按入射光顺序包括光入射口、准直镜、光栅、第一聚焦镜、数字微镜、第二聚焦镜和检测器，在所述第一聚焦镜和所述数字微镜之间设置有棱镜；所述光栅为中阶梯光栅；所述数字微镜为二维数字微镜。本发明专利技术光谱仪可应用于光谱分析。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光谱分析设备。
技术介绍
紫外-可见光波段是原子光谱谱线最为密集的区域。在此波段的高分辨率光谱仪能对未知物质进行定性和定量的分析。阿达玛变换光谱仪是近年来兴起的高性能调制式光谱仪，其采用阿达玛变换光调制方法，具有信噪比高，体积小巧，解码速度快等优点。阿达玛变换(Hadamard Transform, HT)是近四十年来发展起来的基于平面波函数的一种变换。在光学应用中，阿达玛变换类似于统计学中的称量设计方法。在秤(检测器)的精度一定的情况下，几个物体分组称量后计算所得各物体的重量，比单独计量一个物体所称出的重量要准确。图1是现有的阿达玛变换光谱仪的光路原理图。从入射口 1(入射狭缝或入射小孔)发出的发散复合光线(待测光)经过球面镜2 (或抛物镜、椭球镜)准直成平行光，被反射到平面光栅3 ；从平面光栅3射出的不同波长的一级衍射光线出射到成像镜4后，按波长进行排列聚焦在数字微镜5上，数字微镜5对不同波长的光信号进行调制，调制后的光信号由聚焦镜6汇聚到检测器7上进行测量，数字微镜5由多个微镜组成，在调制时每次变动都有不同的微镜向检测器7反射光，每变动一次测量一次光信号，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曾立波，张新民，吴琼水，刘佳，
申请(专利权)人：北京华夏科创仪器技术有限公司，
类型：发明
国别省市：