【技术实现步骤摘要】
摄像机防震基座及机台摄像装置
本技术涉及半导体机台，尤其是涉及一种用于监控半导体机台作业的机台摄像装置以及一种摄像机防震基座。
技术介绍
半导体机台是一种半导体制造设备，在一些比较重要的部分，半导体机台包括摄像机，用于监控机台作业。由于某些机台作业会产生震动，长时间震动会影响摄像机的稳定性和可靠性，从而影响摄像机的使用寿命。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能够减小机台摄像机震动的摄像机防震基座。一种摄像机防震基座，包括底座和设于所述底座上用于固定摄像机的固定面板， 所述固定面板与底座之间通过缓冲组件固定连接。优选地，所述缓冲组件包括固定连接所述底座和固定面板的螺钉和套设于所述螺钉上且两端分别与底座和固定面板抵接的弹簧。优选地，所述固定面板为与枪式摄像机底座相适配的方形，所述螺钉分布于固定面板的四角。优选地，所述固定面板上设有用于连接摄像机的固定孔。一种机台摄像装置，包括底座、设于所述底座上的固定面板、与所述固定面板固定连接的摄像机以及罩设于所述底座上的外罩，所述固定面板和摄像机均设于所述外罩内， 所述固定面板与底座之间通过缓冲组件固定连接。优选地，所述缓冲组件包括固定连接所述底座和固定面板的螺钉和套设于所述螺钉上且两端分别与底座和固定面板抵接的弹簧。优选地，所述固定面板为与枪式摄像机底座相适配的方形，所述螺钉分布于固定面板的四角。优选地，所述固定面板上设有固定孔，所述摄像机通过固定孔与所述固定面板固定连接。上述摄像机防震基座和机台摄像装置，通过缓冲组件连接固定面板和底座，当底座因机台的作业震动时，缓冲组件将震动缓冲后传到固定面板，与固定面板固定连接的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种摄像机防震基座，包括底座和设于所述底座上用于固定摄像机的固定面板，其特征在于，所述固定面板与底座之间通过缓冲组件固定连接。2.如权利要求1所述的摄像机防震基座，其特征在于，所述缓冲组件包括固定连接所述底座和固定面板的螺钉和套设于所述螺钉上且两端分别与底座和固定面板抵接的弹簧。3.如权利要求2所述的摄像机防震基座，其特征在于，所述固定面板为与枪式摄像机底座相适配的方形，所述螺钉分布于固定面板的四角。4.如权利要求1所述的摄像机防震基座，其特征在于，所述固定面板上设有用于连接摄像机的固定孔。5.一种机台摄像装置，包括底座、设于所述底座上的固...
【专利技术属性】
技术研发人员：封亚坤，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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