【技术实现步骤摘要】
本技术涉及微电子技术设备领域，特别是涉及一种探针卡和使用它的多芯片测试系统。
技术介绍
半导体组件的制造过程，大致上可分为晶圆制造、晶圆测试、封装及最后的测试， 在晶圆上制作电路及电子元件(如晶体管、电容、逻辑开关等)，制作完成之后，晶圆变成一格格的芯片，接着对芯片进行相关测试，通常包括电压、电流、时序和功能等，不合格的芯片被淘汰，并将晶圆切割成若干个独立的芯片，合格的芯片进行封装并进行最后测试。随着集成电路复杂度的提高，其测试的复杂度也随着提高，部分大规模集成电路要求进行几百次的电压、电流和时序测试，以及百万次的功能测试来确保器件完全符合使用标准。对晶圆的测试需要专业的测试系统，并且匹配合适的探针卡。由于以往的晶圆测试系统一般只适合单芯片测试或者双芯片测试，测试效率极低，并且操作复杂、测试成本尚ο因此，针对现有技术中存在的问题，亟需提供一种可用于匹配多芯片测试系统，实现测试系统和晶圆上的多个芯片之间的物理连接和电气连接的探针卡，也亟需提供一种高效率、方便操作以及测试成本低的多芯片测试系统。
技术实现思路
本技术的目的在于避免现有技术中的不足之处而提供一种探针卡和使...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探针卡，其特征在于包括印刷电路板、以及设置在印刷电路板上的摆针区、输入输出接口区和弹簧针接口区，所述印刷电路板为多层印刷电路板；所述摆针区设置在印刷电路板的底层，所述摆针区的尺寸为至少放置两个芯片的探针；所述输入输出接口区和弹簧针接口区均设置在所述印刷电路板的顶层；所述弹簧针接口区设置有弹簧针接口，所述输入输出接口区设置有输入输出信号的针脚，所述摆针区设置有接触待测芯片的探针；所述弹簧针接口的输出端与所述输入输出接口的输入接口电连接，所述输入输出接口的输出接口与所述探针的输入端电连接。2.根据权利要求1所述的一种探针卡，其特征在于所述探针设置为352个针，所述输入输出接口设置为16个，每个所述输入输出接口设置为32个针脚，所述输入输出接口共设置为512个针脚，所述弹簧针接口区设置有弹簧针接口 352个；所述352个弹簧针接口分别与输入输出接口的512个针脚中的352个针脚连接，所述352个针脚分别与所述352个探针连接。3.根据权利要求2所述的一种探针卡，其特征在于所述印刷电路板底层设置有探针固定座，所述探针凸出于所述探针固定座。4.一种使用如权利要求1 一 3所述的探针卡的多芯片测试系统，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：辜诗涛，
申请(专利权)人：东莞利扬微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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