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一种探针卡和使用它的多芯片测试系统技术方案
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下载一种探针卡和使用它的多芯片测试系统的技术资料
文档序号:7397122
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本实用新型涉及微电子技术设备领域,特别是涉及一种探针卡和使用它的多芯片测试系统,探针卡包括印刷电路板、以及设置在印刷电路板上的摆针区、输入输出接口区和弹簧针接口区,可用于匹配多芯片测试系统,实现测试系统和晶圆上的多个芯片之间的物理连接和电气...
该专利属于东莞利扬微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞利扬微电子有限公司授权不得商用。
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