桶槽漩流混合装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种桶槽漩流混合装置及方法，所述装置包含：本体，底部设有化学液体输出通道；至少一个喷嘴，连接于本体上；至少一个化学液体传输装置，连接于化学液体输出通道及喷嘴上；压力泵，位于化学液体传输装置上。其中，本体内具有化学液体，化学液体具有水平面，通过压力泵的驱动，使化学液体输出至化学液体输出通道，经由进水管路、压力泵、出水管路至喷嘴，由喷嘴射出化学液体，使本体内的化学液体形成漩流，达到化学液体均匀混合的效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，更具体地讲，涉及化学液体 混合领i或。
技术介绍
近来，半导体科技日新月异，在半导体原料供给上也更趋进步，由早期的人工方式进料，演变成机械方式，至今，进化成电子自动化方式。为了使 作为半导体原料的化学液体能够充分混合且不易结固，传统上，通过电动马达驱动多个叶片，再由多个叶片旋转，来混合化学原料槽内至少一种化学液 体，使至少一种化学液体达到混合且不易结晶的目的。但是，通过电力来驱动的叶片，往往长时间浸于化学原料液体内，时间 一长，会有不同的化学原料被吸附到叶片上，不仅保养清洗困难，而且容易 造成化学原料槽中的成份纯度不良，另外，因化学原料的高侵蚀性，使叶片 受到腐蚀，掉入化学液体中而与化学液体混合，这将使化学原料槽内的化学 液体受到污染，造成制作的产品质量不佳。鉴于传统技术中的各种问题，为了能够使之兼顾得到解决，本专利技术提出 一种桶槽旋流混合装置，以解决上述缺点。
技术实现思路
根据本专利技术的目的，提出一种。通过喷射流体， 产生旋流，产生快速且均匀的流场，达到液体充分混合，提高混合效率的效 果。根据本专利技术的目的，提出一种桶槽旋流混合装置及方法，其中，通过利 用化学液体本身来扰动化学液体，这样，可以避免搅拌叶片腐蚀后的微粒产 生污染。根据本专利技术的目的，提出一种，由于桶槽漩流 混合装置的喷嘴易于清洗及保养，可取代传统机械搅拌组件及轴封，成为架构筒易的混合装置。根据本专利技术目的，提出一种桶槽旋流混合装置及方法，当两种以上比重 有差异的化学液体，因其本身互溶不佳，而各自分离时，可通过喷射流体， 产生均匀的漩流，使两种以上比重有差异的化学液体均匀混合。根据本专利技术的目的，提出一种桶槽旋流混合装置及方法，通过喷射的流 体，产生均匀的漩流，使化学液体不产生结晶，克服了传统叶片与化学液体 接触产生接触面积，使化学液体结晶的缺陷，提升了制作过程的稳定性。鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种桶槽旋流混合装置，以提供使化学 原料混合的功能。该装置包含本体，本体具有相差一定高度的底部及顶部， 底部设有化学液体输出通道。多个喷嘴以对称的方式位于本体上。该桶槽旋 流混合装置还包括至少 一种化学液体传输装置，所述化学液体传输装置具有 至少一个出水管路及至少一个进水管路，所述至少一个出水管路具有第一端 及第二端，所述至少一个进水管路具有第三端及第四端。压力泵位于化学液 体传输装置上，压力泵具有入口及出口，出水管路的第一端连接到喷嘴上， 第二端连接到压力泵的出口 ，进水管路的第三端连接到化学液体输出通道， 第四端连接到压力泵的入口。其中，本体内具有化学液体，化学液体具有水平面，通过压力泵的驱动， 化学液体自化学液体输出通道流出，经由进水管路从压力泵的入口进入压力 泵，通过压力泵的出口输出至出水管路，然后，化学液体从喷嘴射出，使化 学液体水平面上形成旋流。为了实现上述目的，本专利技术提供了一种桶槽旋流混合方法，适用于桶槽漩流混合装置，首先所述混合方法包括下列步骤(1) 步骤A:提供本体、压力泵、多个喷嘴及至少一种化学液体，该本体 具有底部，底部开设有化学液体输出通道，化学液体置于本体内，喷嘴连接 于本体上，压力泵介于喷嘴及化学液体输出通道之间；(2) 步骤B:驱动压力泵，使化学液体由化学液体输出通道输出，经过压 力泵至喷嘴射出；以及(3) 步骤C:利用喷嘴射出化学液体，带动本体内的化学液体形成旋流， 使化学液体混合。根据本专利技术所提供的，能够有效地进行处理， 同时达到单纯筒化的功能。附图说明通过下面结合示例性地示出 一例的附图进行的描述，本专利技术的上述和其 他目的和特点将会变得更加清楚，其中图1是示出根据本专利技术第一实施例的桶槽漩流混合装置的立体结构的示意图2是示出根据本专利技术的第二实施例的桶槽旋流混合装置的立体结构的 示意图3是示出根据本专利技术第三实施例的桶槽旋流混合装置的立体结构的示意图4是示出根据本专利技术第四实施例的桶槽漩流混合装置的立体结构的示意图5是示出根据本专利技术实施例的桶槽漩流混合装置的喷嘴的立体结构的 示意图6是根据本专利技术实施例的桶槽旋流混合方法的流程图。具体实施例方式以下将参照相关附图，说明根据本专利技术较佳实施例的桶槽旋流混合装置 及其方法。为使便于理解，下述实施例中的相同组件以相同标号表示。图1是示出根据本专利技术第一实施例的桶槽旋流混合装置的立体结构的示 意图；图2是示出根据本专利技术第二实施例的桶槽漩流混合装置的立体结构的 示意图；图3是示出根据本专利技术第三实施例的桶槽漩流混合装置的立体结构 的示意图；图4是示出根据本专利技术第四实施例的桶槽漩流混合装置的立体结 构的示意图；图5是示出根据本专利技术实施例的桶槽漩流混合装置的喷嘴的立 体结构的示意图。在图1至图5中，桶槽漩流混合装置主要包含本体1、多个喷嘴2、至少 一个化学液体传输装置3、压力泵4。其中，本体1具有相差一定高度的底部 11和顶部12，该底部11开设有化学液体输出通道111。多个喷嘴2以对称的 方式位于本体1上，所述多个喷嘴2的每个具有连接到喷嘴主体25上的出口 部26。出口部26从喷嘴主体25轴向延伸并开设有开口凹槽27,且开口凹槽 27的开口方向大致与喷嘴主体25的径向方向对应。其中，开口凹槽27形状6为圓形、椭圓形、矩形及扁平形之一。第一喷嘴21的方向约略朝着本体1的侧面，第二喷嘴22的方向约略朝上，第三喷嘴23的方向约略朝着本体1的 侧面，第四喷嘴24的方向约略朝上。在本实施例中，第一喷嘴21与第三喷 嘴23的开口凹槽同沿顺时针方向或逆时针方向。至少一个化学液体传输装置 3具有出水管路31及进水管路32。出水管路31具有第一端311及第二端312。 进水管路32具有第三端321及第四端322。压力泵4位于化学液体传输装置 3上，具有入口41及出口42。出水管路31的第一端311连接喷嘴2，第二 端312连接压力泵4的出口 42。进水管路32的第三端321连接化学液体输 出通道lll，第四端322连接压力泵4的入口 41。其中，本体l内具有至少一种化学液体5,该化学液体5最好为化学研 磨浆料，化学液体5具有水平面51,由于压力泵4的驱动，使化学液体5自 化学液体输出通道111输出，经由进水管路32、压力泵4、出水管路31至喷 嘴4射出，因化学液体5通过化学液体输出通道111输出并通过喷嘴4射出， 使得化学液体5形成漩流6。请参阅图1,该图为根据本专利技术第一实施例的桶槽旋流混合装置立体结 构的示意图。如图所示，桶槽漩流混合装置包含本体1、第一喷嘴21及第三 喷嘴23、至少一个化学液体传输装置3以及压力泵4。本体1的底部11开设 有化学液体输出通道111。第一喷嘴21及第三喷嘴23以对称的方式连接到本 体1上，喷嘴21和23的开口凹槽27均约略朝着本体1的侧面。其中，本体1内具有至少一种化学液体5,化学液体5具有水平面51, 在压力泵4的驱动下，化学液体5自化学液体输出通道111输出，经由进水 管路32、压力泵4、出水管路31至喷嘴2，并从开口凹槽27射出。因第一 喷嘴21及第三喷嘴23的开口凹槽27均约略朝着本体1的侧面，同沿顺时针 方向或逆时针方向，所以，在水平面51上产生顺时针或逆时针方向的第一旋 流61。此外，因化学液体输出通道111位于底部11，使化学液体5由底部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种桶槽漩流混合装置，包含：　本体，具有相距一定高度的底部和顶部，本体上开设有化学液体输出通道；　多个喷嘴，以对称的方式位于本体上；以及　压力泵，位于本体外，压力泵具有入口及出口，其入口连接到化学液体输出通道，其出口连接到 多个喷嘴；　其中，本体内具有至少一种化学液体，通过压力泵的驱动，使化学液体自化学液体输出通道输出，经由压力泵至喷嘴射出，使化学液体内形成漩流。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黎源欣，林志杰，徐宏信，
申请(专利权)人：亚泰半导体设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]