压印用树脂制模具及其制造方法技术

本发明专利技术的课题为提供一种无转印缺陷、与进行压印的树脂之间的剥离性优良且没有由压印产生的缺陷的压印用树脂制模具。本发明专利技术的压印用树脂制模具的特征在于，包括表面上具有凹凸图案的树脂层、在上述树脂层的至少具有凹凸图案的表面上以均匀的厚度形成的无机物层和在上述无机物层的至少具有凹凸图案的表面上以均匀的厚度形成的脱模剂层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。更具体而言，本专利技术涉及与进行压印的树脂之间的剥离性优良的多层结构的。
技术介绍
压印技术是指将形成有凹凸图案的模具按压到基板上的液态树脂等上，将模具的图案转印到树脂上。作为凹凸图案，以IOnm水平的纳米级到100 μ m左右的尺寸存在，被用诸如半导体材料、光学材料、存储介质、微电机、生物、环境等各种领域。作为压印的种类，可例举热压印和光压印等，所述热压印是使表面上形成有规定形状的模具压接到在玻璃化温度以上熔融的热塑性树脂上，将该模具的表面形状热压印在热塑性树脂上，冷却后将模具取下；所述光压印是将同样的模具按压在光固化性树脂上，利用紫外线照射等能量射线使光固化性树脂固化后，将模具取下。另一方面，作为模具，考虑到强度、硬度、加工性及尺寸稳定性等方面，通常使用石英或硅等，可是这些材料有容易破损、价格高、制作耗费时间等问题。为了解决这些问题，以这些石英等的模具作为原始模具来制作复制模具，以期满足大量生产。作为复制模具，从通用性、费用的方面考虑已知有树脂制的复制模具。然而，在用由原始模具获得的由树脂构成的母模来获得树脂制的复制模具时，树脂之间，即母模表面与复制模具表面的相容性良好，因此很难将复制模具从母模剥离下来。于是，报道了一种通过使用特定的树脂，赋予树脂以剥离性的例子(例如参考专利文献1)。然而，由于复制模具所用的树脂受到限定，因此缺乏通用性。此外，对于使用复制模具在树脂上进行压印时的剥离性没有报道。此外，已知为了赋予在树脂上进行压印时的模具与树脂之间的剥离性，在玻璃基板等转印模表面上使用硅烷类等的偶联剂作为脱模剂，通过将模具的表面能调整至合适的范围来赋予剥离性(例如参考专利文献2)。然而，上述脱模剂不易密合在转印模上而产生脱模剂的剥离的问题，或者为了防止剥离而有难以控制脱模剂层的厚度等的问题。此外，作为模具，还有下述例子，即通过将形成于基板上的由两层构成的光催化剂层作为凹凸面，利用光催化功能来分解作为压印对象的树脂和光催化剂层之间的粘接力和结合力，从而赋予与压印树脂之间的剥离性，而且利用光催化功能来分解光催化剂层和固化后的压印树脂表面之间的有机物，从而容易地将模具上的污物除去(例如参考专利文献 3)。然而，由于光催化剂层为两层结构，因此有获得的模具大多缺乏柔性之类的问题。此外， 该方法中是利用光催化功能以赋予剥离性，因此作为压印对象的树脂能使用的树脂被限定为光固化性树脂。现有技术文献专利文献专利文献1 日本专利特开2007-245684号公报专利文献2 日本专利特开200H69942号公报专利文献3 日本专利特开2008-221491号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题本专利技术的课题为提供一种无转印缺陷、与进行压印的树脂之间的剥离性优良且没有由压印产生的缺陷的压印用树脂制模具。此外，本专利技术的课题为提供一种对用于模具的树脂层的树脂无限定、且可进行低成本地量产的压印用树脂制模具。还有，本专利技术的课题为提供一种可固定在辊等上进行使用且具有柔性的压印用树脂制模具。解决课题所采用的技术方案本专利技术是例如下面 的专利技术。 一种压印用树脂制模具，其包括表面上具有凹凸图案的树脂层、在上述树脂层的至少具有凹凸图案的表面上以均勻的厚度形成的无机物层和在上述无机物层的至少具有凹凸图案的表面上以均勻的厚度形成的脱模剂层。 一种压印用树脂制模具，其包括基板，形成于上述基板上且表面上具有凹凸图案的树脂层、在上述树脂层的至少具有凹凸图案的表面上以均勻的厚度形成的无机物层和在上述无机物层的至少具有凹凸图案的表面上以均勻的厚度形成的脱模剂层。如或所述的压印用树脂制模具，其中，上述脱模剂层的厚度为0. 5 20nmo如 中任一项所述的压印用树脂制模具，其中，上述无机物层的厚度为 0. 5 lOOnm。如 中任一项所述的压印用树脂制模具，其中，上述无机物层由选自 SiO2, ZrO2, ZnO, Ta2O5, HfO2, ITO、FTO、TiO2, Si 和 SiC 的至少 1 种无机物构成。如 中任一项所述的压印用树脂制模具，其中，上述脱模剂层由选自氟类硅烷偶联剂、具有氨基或羧基的全氟化合物和具有氨基或羧基的全氟醚化合物的至少 1种脱模剂构成。如 中任一项所述的压印用树脂制模具，其中，上述树脂层由热塑性树脂、热固化性树脂或光固化性树脂构成。如 中任一项所述的压印用树脂制模具，其中，上述树脂层由选自丙烯酸类树脂、苯乙烯类树脂、环氧类树脂、聚酯类树脂、烯烃类树脂和聚碳酸酯类树脂的至少1种树脂构成。如 中任一项所述的压印用树脂制模具，其特征在于，上述基板为选自树脂、玻璃、硅、蓝宝石、氮化镓、碳和碳化硅的1种基板。如 中任一项所述的压印用树脂制模具，其中，上述基板为选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、环状聚烯烃、聚酰亚胺、聚砜、 聚醚砜和聚萘二甲酸乙二酯的1种树脂。如 中任一项所述的压印用树脂制模具，其中，上述脱模剂层表面的相对于纯水的接触角为100°以上。如 中任一项所述的压印用树脂制模具，其中，在树脂层的表面上形成的所要形状的表面形状的重复单元周期为IOnm 50 μ m。 一种压印用树脂制模具的制造方法，其包括使模具与树脂层抵接，将在该模具的表面上形成的凹凸图案转印到树脂层的一侧的表面上的工序；在上述树脂层的至少具有凹凸图案的表面上形成厚度均勻的无机物层的工序；和在上述无机物层的至少具有凹凸图案的表面上形成厚度均勻的脱模剂层的工序。 一种压印用树脂制模具的制造方法，其包括在基板上形成树脂层的工序； 使模具与树脂层抵接，将在该模具的表面上形成的凹凸图案转印到树脂层的表面上的工序；在上述树脂层的至少具有凹凸图案的表面上形成厚度均勻的无机物层的工序；和在上述无机物层的至少具有凹凸图案的表面上形成厚度均勻的脱模剂层的工序。 中任一项所述的压印用树脂制模具的使用方法，其包括使上述 中任一项所述的压印用树脂制模具与树脂表面抵接的工序，以及将上述树脂和上述压印用树脂制模具相互剥离的工序。如所述的压印用树脂制模具的使用方法，其中，上述树脂为光固化性树脂。如 中任一项所述的压印用树脂制模具，其被固定在辊上。此外，本专利技术的压印用树脂制模具还可以采用下面 的形态。 一种压印用树脂制模具，其包括表面上具有凹凸图案的由热塑性、热固化性或光固化性的耐溶剂性树脂构成的树脂固化物层；在上述树脂固化物层的至少具有凹凸图案的表面上，通过使靶材与被粘体相对地自转和公转而使两者的位置关系变化的同时以均勻的厚度形成的无机物层；和在上述无机物层的至少具有凹凸图案的表面上以均勻的厚度形成的脱模剂层。如所述的压印用树脂制模具，其包括基板；形成于上述基板上且表面上具有凹凸图案的热塑性、热固化性或光固化性的耐溶剂性树脂固化物层；在上述树脂固化物层的至少具有凹凸图案的表面上，通过使靶材与被粘体相对地自转和公转而使两者的位置关系变化的同时以均勻的厚度形成的无机物层；和在上述无机物层的至少具有凹凸图案的表面上以均勻的厚度形成的脱模剂层。如或所述的压印用树脂制模具，在使形成上述无机物层的上述树脂固化物相对于靶材进行自转和公转的同时，使含有形成该靶材的成分的无机物在上述树脂固化物的至少具有凹凸图案的表面上析出。如 中任一项所述的压印用树脂制模具，其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：三泽毅秀，上原谕，
申请(专利权)人：综研化学株式会社，
类型：发明
国别省市：