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压印用树脂制模具及其制造方法技术
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文档序号:7363781
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本发明的课题为提供一种无转印缺陷、与进行压印的树脂之间的剥离性优良且没有由压印产生的缺陷的压印用树脂制模具。本发明的压印用树脂制模具的特征在于,包括表面上具有凹凸图案的树脂层、在上述树脂层的至少具有凹凸图案的表面上以均匀的厚度形成的无机物层...
该专利属于综研化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过综研化学株式会社授权不得商用。
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