【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
在诸如集成电路、存储单元及其类似的半导体设备的制作中,需要在半导体晶片(“晶片”)进行一系列的生产操作来定义特征。晶片(或者基底)包括以多层结构形式定义在硅基底上的集成电路设备。带有发散区的晶体管器件在基底层形成。在随后的层上,相互连接的金属线图案化并且与晶体管器件电连接,以定义所需的集成电路装置。并且,图案化的导电层与其它导电层之间通过电绝缘物质相互绝缘。在一系列的生产过程中,晶片表面会暴露在各种各样的污染物中。实质上在生产过程中出现的任何物质都是潜在的污染源。例如,污染源可包括工艺气体、化学品、沉积物、和液体等。各种污染物可能以颗粒形式沉积在晶片表面。如果颗粒污染物未能被清除的话,位于污染区附近的设备将可能会失效。因此,以一种近乎彻底同时又不损害限定在晶片上特征的方式,从晶片表面清除污染物是有必要的。然而,污染颗粒的尺寸通常近似于制作在晶片上的特征的关键尺寸。清除这些小颗粒同时又对晶片上的特征不产生负面影响是非常困难的。传统的晶片清洁方法主要依靠机械力从晶片表面清除颗粒污染物。随着特征尺寸日益变小并且变得更脆,使用机械力增加了晶片表面特征损坏几率。例如,当受到足够大机械力的冲击,具有高深宽比的特征容易翻倒或者破裂。减小特征尺寸的同时颗粒污染物的尺寸也减小,使得清洗问题进一步复杂化。颗粒污染物足够小的话,会到达晶片表面很难触及到的地方,例如在高深宽比特征四周的沟槽中。 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.06.16 US 12/485,7331.一种用于从半导体晶片表面清除颗粒污染物的方法,该方法包
含:
支撑所述半导体晶体;
向所述半导体晶片表面涂敷粘弹性物质,所述粘弹性物质呈现
出液态样特性,并且与沉积在所述半导体晶体表面的颗粒污染物至
少部分粘结;
通过把液体混入载体气体而将所述液体的速度加到高速,所述
载体气体的容积流率要显著大于所述液体的容积流率;
把已加速的所述液体施加到所涂敷的所述粘弹性物质;
其中,在所述高速液体的作用下,所涂敷的所述粘弹性物质呈
现出固态样特性。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述高速大约在每秒1
到1000米的范围。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述粘弹性物质包括聚合
体化合物。
4.根据权利要求3所述的方法,其中,所述载体气体包括氮气或
者其它惰性气体。
5.根据权利要求4所述的方法,其中,所述液体包括去离子水。
6.一种用于从半导体晶片表面清除颗粒污染物的系统,该系统包
含:
可旋转的支撑机构,其用于固定所述半导体晶片;
用于向所述半导体晶片表面涂敷粘弹性物质的涂敷器,所述粘
弹性物质呈现出液态样特性,并且与沉积在所述半导体晶体表面的
颗粒污染物至少部分粘结;
用于把液体高速施加到所涂敷的所述粘弹性物质的喷雾器,所
述喷雾器利用载体气体把所述液体加速到高速,所述载体气体的容
积流率要显著大于所述液体的容积流率;和
其中,在所述液体高速作用下,所涂敷的所述粘弹性物质呈现
出固态样特性。
7.根据权利要求6所述的系统,其中,所述高速大约在每秒1
到1000米的范围。
8.根据权利要求6所述的系统,其中,所述粘弹性物质包括聚合
体化合物。
9.根据权利要求8所述的系统,其中,所述载体气体是氮气或者
其它惰性气体。
10.根据权利要求9所述的系统,其中,所述液体是去离子水。
11.根据权利要求6所述的系统,其中,所述可旋转的支撑机构设
置成当涂敷所述粘弹性物质时低速旋转,及当高速施加所述液
体时高速旋转。
12.根据权利要求11所述的系统,其中,所述低速大约在每分钟
1到100转的范围,及所述高速大约在每分钟10到1000转的
范围。
13.根据权利要求6所述的系统,其中,...
【专利技术属性】
技术研发人员:马克·卡瓦古奇,大卫·穆伊,马克·威尔考克森,
申请(专利权)人:朗姆研究公司,
类型:发明
国别省市:
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