扭摆式角速率陀螺仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扭摆式角速率陀螺仪，由上层的机械结构和下层的玻璃衬底构成，整个机械结构通过第一组水平扭杆与第一固定基座连接，通过第二组水平扭杆与第二固定基座连接，使上层的机械结构悬空在下层的玻璃衬底之上；第一固定基座布置在第一横梁的下面，第二固定基座布置在第二横梁的上面；两组水平扭杆均在XY平面内；第一组扭杆中的第一、第三扭杆和第二组扭杆中的第四、第六扭杆沿X轴方向布置；第一组扭杆中的第二扭杆和第二组扭杆中的第五扭杆沿Y轴方向布置。本实用新型专利技术减少了干扰模态的数目，降低了加工精度的影响，提高了陀螺仪的灵敏度和稳定性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于微电子机械系统和微惯性测量技术，特别是一种扭摆式角速率陀螺仪。
技术介绍
微机械惯性仪表包括微机械陀螺仪(MMG)和微机械加速度计(MMA)。利用微电子加工工艺允许将微机械结构与所需的电子线路完全集成在一个硅片上，从而达到性能、价格、体积、重量、可靠性诸方面的高度统一。因而，这类仪表具有一系列的优点(如体积小、重量轻、价格便宜、可靠性高、能大批量生产等)，在军民两方面都具有广泛的应用前景。在民用方面，主要用于汽车工业、工业监控及消费类产品和机器人技术，如气囊、防抱死系统、偏航速率传感器、翻滚速率传感器、图象稳定及玩具等等；在军用领域，主要用于灵巧炸弹、智能炮弹、战术导弹、新概念武器和微型飞机的自主导航制导系统等。1993年，美国德雷珀实验室通过在玻璃表面复盖硅层技术制作了一种新颖的微机械陀螺一音叉式线振动陀螺。该陀螺仪由双质量块、支承梁和横梁组成，陀螺仪采用线振动驱动和角振动检测的方式，可以敏感陀螺仪平面内轴向的角速率。由于该陀螺仪的驱动运动与敏感运动完全耦合，限制了其灵敏度的提高。2007年，裘安萍、苏岩等人研制了双质量振动式硅微陀螺仪(申请号 200710133223本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：苏岩，姜劭栋，丁衡高，裘安萍，施芹，董金虎，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：实用新型
国别省市：