一种改善电镀铜工艺的方法技术

技术编号：7324166 阅读：238 留言：0更新日期：2012-05-09 23:50

本发明专利技术一种改善电镀铜工艺的方法，包括：电镀槽为多个独立的电镀槽模块，根据电镀工艺的要求，通过选择对其中一个或多个电镀槽模块进行组合，分布连续进行，以形成所需要的电镀工艺。通过发明专利技术一种改善电镀铜工艺的方法，有效的将传统的单一电镀槽工艺分为多个电镀槽模块，在每个电镀槽模块中可分别设置电镀条件、电镀液以及有机添加剂的成分和浓度，同时可选着其中一个或多个电镀槽模块进行组合，分布连续进行，从而使该电镀工艺适合更大的范围，并极大方便电镀工艺的调整和优化。