【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用于三氟化氮无水分解反应的氧化铝基脱氟剂 及其应用方法。
技术介绍
人为排放的温室气体导致地球气候日趋变暖，引起了人们的广泛关注。三氟化氮是重要的温室气体，其温室效应潜值是CO2的8000倍，大气 寿命50-740年。三氟化氮是一种半导体、电子工业使用的等离子刻蚀气体和清 洗气体，使用后的三氟化氮废气如不经处理直接排放到大气中，会对生态环境 造成严重危害。现行的对三氟化氮废气的处理方法， 一般采用高温煅烧法和催化水解法。 其中，高温煅烧法要求煅烧温度达到IOO(TC以上时才能得到较高的转化率，能 耗非常高。而催化水解法分解三氟化氮废气，是在催化剂的作用下，三氟化氮 和水反应，生成氮氧化物和氟化氢，氟化氢气体遇水生成氢氟酸，对反应器有 强腐蚀作用，操作流程复杂
技术实现思路
本专利技术所要解决的问题是提供一种用于三氟化氮无水分解反应 的氧化铝基脱氟剂及其应用方法，该脱氟剂既具有较高的反应性能，又具有价 廉、制备工艺简单的优点。本专利技术提供的技术方案是一种用于三氟化氮无水分解反应的氧化铝基脱氟剂，其特征在于组成成 分为氧化铝和金属助剂氧化物，其中金属...
【技术保护点】
一种用于三氟化氮无水分解反应的氧化铝基脱氟剂，其特征在于：组成成分为氧化铝和金属助剂氧化物，其中金属助剂氧化物的量以金属助剂的量计，金属助剂的质量占氧化铝质量的０－１０％。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐秀峰，潘燕飞，牛宪军，
申请(专利权)人：烟台大学，
类型：发明
国别省市：37[中国|山东]
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