用于连续制造金属薄膜太阳能电池的淀积设备及方法技术

本发明专利技术涉及有机金属气体气相淀积系统，具体涉及一种用于连续制造金属薄膜砷化镓太阳能电池的有机金属气体气相淀积设备及方法,所述设备包括一个大型真空腔室及其附属真空排气装置；隔绝在所述真空腔室里至少有如下装置：连续性金属薄膜自动出料展料系统及收料系统；淀积反应区；金属气体淀积反应器，及其用于均匀喷洒有机金属气体的喷口组合；基材加热平台；其中所述淀积反应区位于所述出料展料系统和收料系统之间，所述金属气体淀积反应器及其用于喷洒有机金属气体的喷口组合位于所述淀积反应区的上方，所述的淀积反应区的下方设置所述加热平台。该设备采用卷带式金属薄膜连续制造砷化镓太阳能电池，极大的提高了生产效率，大辐度的降低了砷化镓太阳能电池制造成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及有机金属气体气相淀积系统，具体涉及一种。
技术介绍
砷化镓太阳能电池是所有太阳能电池光电转换效率最高的品种，且耐温性好。高效能砷化镓太阳能电池是将N型砷化镓材料与P型砷化镓材料先后淀积在砷化镓基板上， 两种异电性材料间的接口能光电转换使太阳光转换成电流并输出，其中砷化镓太阳能电池的基板材料是砷化镓晶片。目前传统的有机金属气体气相淀积系统为圆形真空反应腔室里面的基板加热平台一次可装设39片2吋砷化镓晶片，在一次基本的制造过程从开始将反应腔室抽至真空、 基板加热、气体气相淀积制程、冷却，大约需要四小时，也就是在四小时之内可淀积产出 2. 5cmX2. 5cmX3. 1416X39=765. 765cm2 或 1X1X3. 1416X39=122. 5224 平方吋的砷化镓太阳能电池片。该系统使用的基片材料2吋砷化镓晶片每片价位在110美元左右等于每平方厘米5. 71美元左右的价位，成本非常高昂，且耗能大产量小，只能用在一些不计较成本的精密仪器及航天设备上使用。如何能降低砷化镓太阳能电池生产成本，提高产量，使太阳能发电成本降低到每瓦一美元(W/USD)以下，是光伏产业研究创本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈聪茂，
申请(专利权)人：陈聪茂，
类型：发明
国别省市：