干湿交替式废气处理装置制造方法及图纸

干湿交替式废气处理装置，包括废气裂解腔、废气滤净腔及污水处置槽，废气裂解腔设温度侦测器及铝箔层，以通过恒温控制与热反射作用缩减加热时间和能源耗费，腔体底端设集尘筒，以避免腔底积堵尘垢，废气滤净腔内部于水雾喷头上方设多个金属环管，用以凝附滤除废气中过饱和水分，污水处置槽槽口延伸设直立挡板，槽体架设淤泥清除装置，将污水产生的大部分沼气阻隔于槽内，并通过计时器控制驱动而自动移除槽内的淤泥。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体分离装置，尤其涉及一种干湿交替式废气处理装置。近年来，国际环保意识增强，各国在发展工业的同时，要求相关工厂所排放的废气、废水必须符合排放标准。为此，有各种针对不同产业工艺流程特性而设计的废气、废水处理设备陆续开发问世。目前半导体产业广泛使用的废气处理方法有湿式和干湿交替式两种，其中湿式废气处理方法，主要是使废气直接经由多道水雾冲刷作业后再行排放。干湿交替式废气处理方法，是使废气用导管依序经由一裂解腔进行高温分解，然后导入一滤净腔进行水雾冲刷作业后，再经由风管排放。后一种方法采用的设备装置虽结构较为复杂，但因具有较佳的废气处理效率，已逐渐被具有高生产价值的半导体产业所接受采用。上述习用干湿交替式废气处理方法，其所应用的设备，虽能达到基本的实施效果，但经长期使用，发现其仍有下述缺陷有待改进一是习用设备的裂解腔经一段作业时间后，其内部进出气口处易产生堆积灰垢，导致维修保养的困扰；二是其经由滤净腔进行水雾冲刷作业后排出的废气，因湿度过高常导致风管内产生积水滴落现象。三是在废气处理过程中冲刷而下的污水，一般通过管路直接导入一加盖储槽进行沉淀处理，再由操作工人进入槽内铲除淤泥，槽内产生的沼气容易危害操作人员的生命安全。有鉴于此，本技术创作人员根据其多年从事废气处理设备制造业的经验，针对习用干湿交替式半导体废气处理装置整体结构设计存在的问题，积极地研究改进，终于设计出本技术。本技术的目的在于提供一种干湿交替式废气处理装置，其由废气裂解腔、废气滤净腔及污水处置槽组成，其可减少加热时间，降低能源耗费，便于清洁保养，污水处置槽内沉积的淤泥可自动移除，作业安全性高。本技术的目的是由以下技术方案实现的。本技术干湿交替式废气处理装置，包括一废气裂解腔、一废气滤净腔及一污水处置槽，该废气裂解腔，其内腔壁设有一温度侦测器及一铝箔层，以通过恒温控制与热反射作用缩减加热时间和能源耗费，其腔体底端接设有一可拆卸的集尘筒，以避免腔底积堵尘垢，该废气滤净腔，其内部于水雾喷头上方堆置有多个金属环管，用以凝附滤除废气中过饱和水分，该污水处置槽，其槽体的槽口内侧缘延伸设有一直立挡板，该槽体架设有一由输送带、主动轴、从动轴、梳状滚轮、刮板、泻板、减速马达组成的淤泥清除装置，其能将污水产生的大部分沼气阻隔于槽内，并通过计时器控制驱动而将储槽内沉淀的淤泥自动移除。本技术的上述目的还可以通过以下技术措施来进一步实现。本技术干湿交替式废气处理装置，所述设在污水处置槽内的输送带是由主动轴、从动轴的穿设及梳状滚轮轴压抵而制成侧视L形状；所述废气裂解腔的腔体设成可拆开、锁合的两个相对部分，该废气裂解腔本体可固定架设在架体上，也可用悬滑轨支撑悬设；所述废气裂解腔的废气导入管端接设一防气爆器；所述废气裂解腔的内部间隔设有数道挡流板；所述废气裂解腔的废气导入处设有一环状氮气喷座，用于混合废气的氮气导管与压缩空气导管枢穿经过废气裂解腔内部的隔热层；所述废气滤净腔内部堆设在水雾喷头和出气口间的金属环管可用吸水性泡沫替代，水雾喷头上方的腔壁增设一释压阀。本技术的具体结构由以下实施例及其附图详细给出。附图说明图1为本技术整体结构配置示意图。图2为本技术废气裂解腔内部结构示意图。图3为本技术废气滤净腔内部结构示意图。图4为本技术污水处置槽结构示意图。图5为本技术污水处置槽局部结构示意图。图6为本技术污水处置槽梳状滚轴及输送带结构示意图。图7为本技术的废气裂解腔可拆除结构俯视示意图。图8为备技术的废气裂解腔加装防气爆器示意图。图9为本技术的废气裂解腔设有的挡流板结构示意图。图10为本技术的废气裂解腔另一实施状态结构示意图。图11为本技术的废气滤净腔另一实施状态结构示意图。参阅图1所示，本技术干湿交替废气处理装置，其包括一废气裂解腔1、一废气滤净腔2及一污水处理槽3。参阅图2所示，本技术干湿交替废气处理装置，其废气裂解腔1的内腔壁设有一温度侦测器11，用以控制加热器12以恒温状态运作，且内腔壁设有一铝箔层13，其能产生热反射作用，以缩短废气裂解腔1的加热时间及减少能源耗费，该废气裂解腔1的底端另接设有一可拆卸的集尘筒14，该集尘筒14的筒口端设有一蝴蝶阀141，用以收集废气裂解过程产生的颗粒尘a，这种结构设计能壁面腔底堆积尘垢，且无需拆开废气裂解腔即能清洁保养。参阅图3所示，本技术干湿交替废气处理装置，其废气滤净腔2内部的水雾喷头21与出气口间是堆置有多个金属环管22，废气(如→示)由废气裂解腔1通过连接管15导入废气滤净腔2完成水雾冲刷后，再经由该层金属环管22将气体中的残余水分凝附在壁面，再经风管排出，以壁面过多的水气在风管内形成凝结滴水现象。参阅图4、图5、图6所示，本技术的干湿交替废气处理装置，其污水处置槽3槽体的槽口内侧缘延伸设有一直立挡板31，其可将污水产生的大部分沼气(如→示)阻隔于槽内，其中该污水处置槽3是由导管32接通废气滤净腔2底端以承接污水，并定时将槽内经沉淀的废水抽出者，且其槽体架设有一包括主动轴33、减速马达34、从动轴35、梳状滚轴36、输送带37、刮板38、泻板39构成的淤泥清除装置，其中该输送带37是设以长纤维化纤耐酸碱毯子构成的一L形输送带，当污水处置槽3内的污水积存沉淀相当时间后，通过一计时器的控制启动减速马达322带动主动轴33，输送带即呈顺时针方向回转，而积附在输送带上的淤泥b随着L状顺时回移过程，能由梳状滚轴36先将其铲松，在由刮板38刮落在泻板39上，配合在泻板出口端下方预置的一容器c，可达到自动清除淤泥的效果。参阅图7所示，如上述的干湿交替式废气处理装置，其废气裂解腔1的腔体结构可设计成有两个相对部分40可拆卸、锁合的组合形状，该废气裂解腔1本体可固定架设在架体上，或者用滑轨41支撑悬设，以达到方便内腔壁的清除保养作业。参阅图8所示，如上述的干湿交替式废气处理装置，其废气裂解腔1废气导入管端d另接设一防爆器e，以达增加作业时的安全性。参阅图9所示，如上述的干湿交替式废气处理装置，其废气裂解腔1内部设有数道挡流板f，用以缓和废气(如→示)流速，从而获得更佳的高温裂解效果。参阅图10所示，如上述干湿交替式废气处理装置，其废气裂解腔1的废气导入处设有一环状氮气喷座50，以在其腔内壁面形成一道氮气气膜，使废气中的颗粒不致因气流死角而在腔内产生上部堆积堵塞，用于混合废气的氮气导管51与压缩空气导管52设于枢穿经过废气裂解腔内部的隔热层53，从而获得预热效果以加速腔内废气的分解效率。参阅图3、图11所示，如上述干湿交替式废气处理装置，其废气滤净腔2其内部堆设于水雾喷头21上方的金属环管22可用吸水性泡沫球23替代，并在水雾喷头上方的腔壁增设一释压阀24，以增加水气滤除效果。综上所述，本技术干湿交替式废气处理装置，其结构设计合理，废气处理效果好，方便设备的清除保养，作业安全性高，克服习用产品的缺陷，达到预期的设计目的。权利要求1.一种干湿交替式废气处理装置，其特征在于，包括一废气裂解腔、一废气滤净腔及一污水处置槽，该废气裂解腔的内腔壁设有一温度侦测器及一铝箔层，其腔体底端接设有一可拆卸的集尘筒；该废气滤净腔，其内部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种干湿交替式废气处理装置，其特征在于，包括一废气裂解腔、一废气滤净腔及一污水处置槽，该废气裂解腔的内腔壁设有一温度侦测器及一铝箔层，其腔体底端接设有一可拆卸的集尘筒；该废气滤净腔，其内部于水雾喷头上方堆置有多个金属环管；该污水处置槽，其槽体的槽口内侧缘延伸设有一直立挡板，槽体架设有一由输送带、主动轴、从动轴、梳状滚轮、刮板、泻板、减速马达组成的淤泥清除装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈聪茂，
申请(专利权)人：陈聪茂，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]