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本发明涉及有机金属气体气相淀积系统，具体涉及一种用于连续制造金属薄膜砷化镓太阳能电池的有机金属气体气相淀积设备及方法,所述设备包括一个大型真空腔室及其附属真空排气装置；隔绝在所述真空腔室里至少有如下装置：连续性金属薄膜自动出料展料系统及收料...
该专利属于陈聪茂所有，仅供学习研究参考，未经过陈聪茂授权不得商用。

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