一种用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置，聚四氟乙烯多孔花篮通过螺纹接在花篮手柄的下端，花篮手柄的上端与力臂杆的一端成90°的弹性衔接以方便花篮手柄的卸取，聚四氟乙烯多孔花篮通过花篮手柄垂吊在力臂杆上；在力臂杆的另一端通过螺纹连接在滑块上，滑块带动力臂杆在导轨上垂直上下移动，为了使滑块平稳移动将其两端固定在平衡连接杆上；平衡连接杆的另端与驱动板固定衔接；主杆架是一个弓字形结构，下端通过固定架紧套在恒温水槽上保证整个装置不会因为偏重而倾斜，上端固定步进电机。提供动力后聚四氟乙烯多孔花篮呈上下运动状态，达到动态清洗的目的。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片的制造技术，具体涉及一种用溶剂溶液自动清洗硅片的动态直O
技术介绍
碲镉汞红外探测器在研制过程中步骤繁多，其工艺涉及到表面处理、介质膜、光刻、P-N成结、腐蚀、金属电极、互连等一系列工艺，而且每道工艺都要进行溶剂溶液清洗过程。硅片是一种脆性材料，对其样品的拿取和溶剂溶液清洗的方式及其重要。传统的操作方法用金属摄子夹取在溶剂溶液中通过超声波震荡方法或者手动晃荡方法来清洗。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，要提出硅片在溶剂溶液中动态作用下的一种清洗装置，通过该装置来解决现有清洗中存在的问题。为实现上述目的，本技术的技术方案是设计一种用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置，所述装置包括滑槽、驱动板、平衡连接杆、滑块、石英烧杯、有机或无机溶液、固定架、恒温水浴、恒温水槽、拨盘、拨杆、力臂杆、步进电机、步进调速电源、导轨、主杆架、花篮手柄和聚四氟乙烯多孔花篮，其特征在于，所述的聚四氟乙烯多孔花篮通过螺纹接在花篮手柄的下端，所述花篮手柄的上端与力臂杆的一端成90°的弹性衔接以方便花篮手柄的卸取，所述聚四氟乙烯多孔花篮通过花篮手柄垂吊在力臂杆上；在所述力臂杆的另一端通过螺纹连接在滑块上，所述滑块带动力臂杆在导轨上垂直上下移动，为了使所述滑块平稳移动将其两端固定在平衡连接杆上；所述平衡连接杆的另端与驱动板固定衔接；所述的主杆架是一个弓字形结构，下端通过固定架紧套在恒温水槽上保证整个装置不会因为偏重而倾斜，上端固定步进电机。本技术的优点和有益效果在于1、由于碲镉汞硅片竖立于花篮中间，有机或无机溶液通过多孔花篮流畅的冲浪， 达到全面清洗的目的。2、由于步进电机可输出稳定的转速，可以保证工艺的可靠性和可重复性。3、由于硅片有大有小，聚四氟乙烯多孔花篮可随意更换大小。4、由于聚四氟乙烯多孔花篮的可换性，力臂杆的长短也随之可换。附图说明图1是本技术用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置主视图；图2是本技术用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置侧视图。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。如图1、2所示，本技术是用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置，其特点在于1、硅片松舒自由地放置于聚四氟乙烯多孔花篮里。2、通过聚四氟乙烯多孔花篮，硅片在有机溶液或无机溶液里做上下运动。3、使用的有机或无机溶液又处于恒温水槽中恒定温度。4、聚四氟乙烯多孔花篮通过机械结构连接在电机形成自动化运动状态，清洗过程达到有效的一致性和重复性。该装置，包括滑槽1，驱动板2，平衡连接杆3，滑块4，石英烧杯5，有机或无机清洗溶液6，固定架7，恒温水浴8，恒温水槽9，拨盘10，拨杆11，力臂杆12，步进电机13，电源 14，导轨15，主杆架16，花篮手柄17，硅片18，聚四氟乙烯多孔花篮19。所述的聚四氟乙烯多孔花篮通过螺纹螺接在花篮手柄的下端101 ；为使花篮手柄的卸取方便，花篮手柄的上端与力臂杆的一端呈90°的弹性衔接201，这样，聚四氟乙烯多孔花篮通过花篮手柄垂吊在力臂杆上。为了承载聚四氟乙烯多孔花篮里被清洗的硅片的数量多或少，可以根据需要更换力臂杆的长短。力臂杆的另一端螺接301在滑块上，滑块带动力臂杆在导轨上垂直上下移动，为了使滑块平稳移动两端固定在平衡连接杆401上。平衡连接杆的另端与驱动板固定衔接501。所述的主杆架是一个弓字形结构，下端通过固定架紧套在恒温水槽9上，整个装置不会因为偏重而倾斜。上端固定步进电机。启动步进电机拨盘转动，带动拨杆作圆周运动，由于拨杆被套在驱动板的滑槽内， 所以带动驱动板作上下运动。所述的滑槽，滑槽的长短可根据聚四氟乙烯多孔花篮上下移动时被清洗硅片不露出石英烧杯液面的原则设计而成，滑槽越长，上下移动的距离越大，反之，距离变小。该装置通过以上构造连接形成一个上下移动的动态模式，以至于达到清洗目的。 也就形成了用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置。将有机或无机清洗溶液6灌入石英烧杯5，石英烧杯置于恒温水槽9水浴8中。将硅片18竖立于聚四氟乙烯多孔花篮19中浸入灌有溶剂的石英烧杯内，接通电源14启动步进电机13带动拨盘10拨杆11在滑槽1内作圆周运动，滑块在导轨15内上下移动，聚四氟乙烯多孔花篮通过花篮手柄17、力臂杆12、滑块4、滑槽1等部件连接上下提拉运动，达到动态清洗的目的。本装置用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置，已经成功用于红外探测器研制工艺中。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。权利要求1. 一种用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置，所述装置包括滑槽、驱动板、平衡连接杆、滑块、石英烧杯、有机或无机溶液、固定架、恒温水浴、恒温水槽、拨盘、拨杆、力臂杆、步进电机、步进调速电源、导轨、主杆架、花篮手柄和聚四氟乙烯多孔花篮，其特征在于，所述的聚四氟乙烯多孔花篮通过螺纹接在花篮手柄的下端，所述花篮手柄的上端与力臂杆的一端成90°的弹性衔接以方便花篮手柄的卸取，所述聚四氟乙烯多孔花篮通过花篮手柄垂吊在力臂杆上；在所述力臂杆的另一端通过螺纹连接在滑块上，所述滑块带动力臂杆在导轨上垂直上下移动，为了使所述滑块平稳移动将其两端固定在平衡连接杆上；所述平衡连接杆的另端与驱动板固定衔接；所述的主杆架是一个弓字形结构，下端通过固定架紧套在恒温水槽上保证整个装置不会因为偏重而倾斜，上端固定步进电机。专利摘要本技术公开了一种用溶剂溶液自动清洗硅片的动态装置，聚四氟乙烯多孔花篮通过螺纹接在花篮手柄的下端，花篮手柄的上端与力臂杆的一端成90°的弹性衔接以方便花篮手柄的卸取，聚四氟乙烯多孔花篮通过花篮手柄垂吊在力臂杆上；在力臂杆的另一端通过螺纹连接在滑块上，滑块带动力臂杆在导轨上垂直上下移动，为了使滑块平稳移动将其两端固定在平衡连接杆上；平衡连接杆的另端与驱动板固定衔接；主杆架是一个弓字形结构，下端通过固定架紧套在恒温水槽上保证整个装置不会因为偏重而倾斜，上端固定步进电机。提供动力后聚四氟乙烯多孔花篮呈上下运动状态，达到动态清洗的目的。文档编号B08B3/10GK202185424SQ20112026208公开日2012年4月11日 申请日期2011年7月22日 优先权日2011年7月22日专利技术者李向清, 沈彪, 胡德良 申请人:江阴市爱多光伏科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈彪，李向清，胡德良，
申请(专利权)人：江阴市爱多光伏科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：