图像测量装置和图像测量方法制造方法及图纸

公开了一种图像测量装置和图像测量方法。所述图像测量装置，包括：捕捉测量对象的图像的图像捕捉单元，输入由图像捕捉单元捕捉的测量对象的图像的输入单元，将由输入单元输入的图像二进制化的二进制化单元，识别被二进制化单元二进制化的图像中的图形信息并且检测图形信息的轮廓的轮廓检测单元，基于由轮廓检测单元检测的轮廓来检测图形信息的角的角检测单元，在包括由角检测单元检测的角的轮廓线上分别设置边缘检测工具的设置单元以及通过被设置单元设置的边缘检测工具测量图形信息的测量单元。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
传统地，已知一种图像测量装置，其通过(XD(电荷耦合器件)照相机等捕捉工件的测量位置的图像并且在捕捉的图像上执行边缘检测、图案匹配等(例如，参见 JPH8-247719)。边缘检测是一种例如通过基于如图11所示的由操作者设置的边缘检测工具T获得捕捉的图像中包括的测量目标图形的边缘信息(位置坐标等)以及通过测量如图12中所示的测量目标图形的位置、宽度、高度等来确定工件是否是所期望的工件等的技术。此外，图案匹配是一种通过将在捕捉的图像中包括的测量目标图形与事先注册的模板图像相比较、通过例如测量工件的位置像差、角度像差等来确定工件是否是所期望的工件等的技术。然而，传统图像测量装置是困难的，这是因为需要通过操作者手动地将边缘检测工具T设置到多个位置以便实现边缘检测。此外，传统图像测量装置难以实现图案匹配，这是因为需要根据测量目标图形的形状来注册模板图像。此外，当测量目标图形的方向、尺寸等与模板图像的方向、尺寸等不同时，存在不方便使得处理需要更多时间并且不能执行图案匹配。
技术实现思路
因此，本专利技术的主要目的在于提供一种对于操作者不困难的并且其中可以迅速并稳妥地执行测量的。为了实现上述目的中的至少一个，反映本专利技术的一个方面的图像测量装置包括 拾取测量对象的图像的图像捕捉单元，输入由图像捕捉单元捕捉的测量对象的图像的输入单元，将由输入单元输入的图像二进制化的二进制化单元，识别被二进制化单元二进制化的图像中的图形信息并且检测图形信息的轮廓的轮廓检测单元，基于由轮廓检测单元检测的轮廓来检测图形信息的角的角检测单元，在包括由角检测单元检测的角的轮廓线上分别设置边缘检测工具的设置单元以及通过设置单元设置的边缘检测工具测量图形信息的测量单元。进一步，为了实现上述目的中的至少一个，一种通过反映本专利技术的一个方面的图像测量装置执行的图像测量方法包括输入由图像捕捉单元捕捉的测量对象的图像，二进制化由输入单元输入的图像，识别由二进制化单元二进制化的图像中的图形信息，检测图形信息的轮廓，基于由轮廓检测单元检测的轮廓来检测图形信息的角，在包括由角检测单元检测的角的轮廓线上设置边缘检测工具以及通过由设置单元设置的边缘检测工具测量图形信息。附图说明 从下文中给出的具体描述和附图，将更加充分地理解本专利技术的以上和其它目的， 优点和特征，所述附图仅以图示方式给出，并且因此不旨在作为对本专利技术的限制的定义，并且其中图1为示出了根据本专利技术的图像测量装置的整体结构的外部示图2为示出了图1的图像测量装置的控制结构的框图3为要被图1的图像测量装置输入的原始图像的示例；图4为其中原始图像被二进制化的二进制化图像的示例；图5为其中在二进制化图像中检测到轮廓的图像的示例；图6为其中在图形信息中检测到角的图像的示例；图7为其中设置边缘检测工具的图像的示例；图8为示出了设置的边缘检测工具要测量的图形信息中的测量位置的示意图图9为示出了根据本专利技术的图像测量处理的流程图10为示出了图形信息的修改的示意图11为用于阐述传统技术的示意图；以及图12为用于阐述传统技术的示意图。具体实施例方式以下，将参照附图来具体描述根据本专利技术的图像测量装置。图像测量装置100是一种这样的装置，其捕捉放置于测量工作台13上的工件(测量对象)12的图像，并且通过处理该图像以测量图形信息的值(诸如线宽等)来检测图像中预定图形(图形信息)的边缘。如图1和2所示，图像测量装置100包括装置主体10、显示部分20、操作部分30、 控制部分40等。装置主体10包括用于放置工件12的测量工作台13，用于捕捉工件12的图像的图像捕捉单元17等。测量工作台13安装在台面11上并且通过Y轴驱动机构(在图中未示出)在Y轴方向上驱动。在台面11的边缘的中心部分，分别固定向上延伸的支撑臂14和15，并且固定 X轴导向装置16从而接合支撑臂14和15的上端部分。通过X轴导向装置16支撑图像捕捉单元17。图像捕捉单元17通过X轴驱动机构(在图中未示出)沿X轴导向装置16驱动。 在图像捕捉单元17的下端部分，安装CCD照相机18从而面向测量工作台13。此外，在图像捕捉单元17中，除了图中未示出的照明设备和聚焦机构以外还嵌入在Z轴方向上移动CXD照相机18的位置的Z轴驱动机构。显示部分20包括例如液晶显示面板，并且根据从控制部分40输入的控制信号显示各种类型的图像和设置屏幕。具体地，例如，在显示部分20中显示捕捉单元17捕捉并输入的图像(原始图像 见图3)、同时经历图像测量处理的例程的转换图像(图4至图8)等。在此，将描述原始图像。原始图像是包括一个或多个图形信息的黑白灰度图像。图形信息是要作为用于测量的目标的原始图像中的区域，并且如图3所示，图形信息是例如以诸如四边形(正方形、矩形)、十二边形(十字图形)等的多边形形状，并且在原始图像中作为白色部分示出。此外，在原始图像中，除了图形信息以外的其他区域是背景信息，其变成图形信息的背景并且被指示为其中黑色比图形信息更浓的黑色部分。图3是包括十二边形的图形信息Si、四边形的图形信息S2和其中切掉中间部分的四边形的图形信息S3的原始图像的示例。操作部分30包括例如诸如键盘的一组操作按键，诸如鼠标的指向设备等，并且当操作者对操作部分30进行操作时，操作部分30根据对控制部分40的操作来输出操作信号。当指定原始图像中的图形信息中要测量的图形信息的形状时，操作部分30用作指定单元。具体地，操作者通过使用在显示部分20中显示的设置屏幕、通过操作部分30指定角的数目来指定要测量的图形信息的形状。例如，当操作者指定“4”时，在原始图像中的图形信息中选择四边形(正方形、矩形)图形信息，而不选择除了四边形图形信息以外的诸如十二边形(十字图形的图形信息) 的图形信息。以该方式，当操作者通过操作部分30指定角的数目时，通过选择在原始图像中的图形信息中具有指定的角的数目的图形信息来执行边缘检测。因此，操作者可以任意地指定要执行边缘检测的图形信息。即，当在输入的原始图像中存在多个不同形状的图形信息时，操作者可以通过操作部分30指定图形信息的形状而仅测量期望形状的图形信息。此外，当实现工件的图像捕捉指令操作以及开始图像测量处理的指令操作等等时对操作部分30进行操作。控制部分40包括CPU (中央处理单元)41、RAM(随机存取存储器)42、存储部分43 等等。进一步，控制部分40经由系统总线与测量工作台13、图像捕捉单元17、显示部分20、 操作部分30等相连接。例如，CPU 41执行与存储在存储部分43中用于图像测量设备的各种类型的处理程序一致的各种类型的控制处理。例如，RAM 42包括用于开发CPU 41执行的处理程序等的程序存储区域以及用于存储在执行处理程序时生成的输入数据和处理结果等的数据存储区域。例如，存储部分43存储可以被图像测量装置100执行的系统程序，可以被系统程序执行的各种类型的处理程序，在执行各种类型的处理程序时使用的数据，由CPU 41对其执行算法处理的各种类型的处理结果的数据等。在此，在存储部分43中以可以被计算机处理的程序码的格式存储程序。具体地，在存储部分43中存储例如输入程序431、图像存储部分432、二进制化程序433、轮廓检测程序434本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：栗原正纪，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：