一种LPCVD工艺腔加热系统技术方案

本发明专利技术公开了一种LPCVD工艺腔加热系统，具体地讲是一种适用于薄膜电池对TCO超白浮法平板玻璃加热的LPCVD工艺腔加热系统。其包括控制系统、加热部件、被加热体三部分；其中，被加热体为加热板；加热部件包括四根加热丝，加热丝嵌入到加热板中；控制系统包括四个温控器和四个固态继电器，四个温控器分别对应四根加热丝，每个温控器与对应的固态继电器通过两根控制线连接，固态继电器的输出端与加热丝连接。本发明专利技术具有加热板温度易控、加热温度精度高、加热均匀、镀膜均匀、成品率高的特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种LPCVD工艺腔加热系统，具体地讲是涉及一种对薄膜电池用TCO 超白浮法平板玻璃加热的LPCVD工艺腔加热系统。
技术介绍
随着能源的日益短缺，可再生绿色能源的开发和利用越来越受到人们的关注，尤其是对太阳能的利用，带动了太阳能光伏发电系统，特别是光伏电池和大面积光伏模块器件的开发和应用。其中，薄膜太阳能电池就以其大面积、轻薄透明等特点在民用设施建筑物等的太阳能发电领域拥有广阔的发展前景。低压化学气相沉积法LPCVD是在低压状态下，利用气态物质通过热分解反应或者化学反应，在基体表面上形成固态薄膜。LPCVD拥有均勻的阶梯覆盖性、很好的组成成份和结构的控制、具有较高的沉积速率和输出量、以及低廉的制程成本，适合大批量生产应用； 另外，LPCVD不需要载子气体，大大降低了颗粒污染源，因此其被广泛应用于薄膜电池产业中，对薄膜电池用TCO超白浮法平板玻璃进行薄膜沉积。在LPCVD中对于TCO超白浮法平板玻璃加热有四种方式热阻丝加热、射频(RF) 感应加热、光能加热和等离子增强加热。其中，射频感应加热方式或者光能加热方式，是借由射频感应或在反应器内装红外线、紫外线加热灯管来引入本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：乔志强，
申请(专利权)人：汉能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：