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本发明公开了一种LPCVD工艺腔加热系统，具体地讲是一种适用于薄膜电池对TCO超白浮法平板玻璃加热的LPCVD工艺腔加热系统。其包括控制系统、加热部件、被加热体三部分；其中，被加热体为加热板；加热部件包括四根加热丝，加热丝嵌入到加热板中；控...
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