【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种测温装置，具体涉及一种气氛隔离的多点测温装置。
技术介绍
传统的测温装置只设有一个感温元件，只能测量某一个点的温度，对于需要测量和控制多个温度点的装置来说，就需要安装多个热电偶装置，设备投资较大，并且结构复杂，不利于实现和具体操作。中国专利CN2911628Y公开了一种多点测温的铠装热电偶装置，特点是在沿着保护管方向设有多只梯度布置的感温元件，可以同时测量分布在同一直线上的多个测温点的温度值。但这种装置热电偶没有固定装置固定，容易相互缠绕干扰，影响温度准确测量。尤其针对在要求进行气氛隔离温度测量的高洁净半导体、光伏高温加热制程领域，比如高温扩散炉、氧化炉、退火炉等进行多点的温度测量时，常使用热电偶进行温度的测量。在空间狭小，带有工件传动装置时，热电偶极易受到金属及大气等的污染，气氛的有效隔离可以避免金属及大气等的污染，同时测温装置的尺寸也要求越小越好。多点测温时，各支热电偶相互之间的固定管理非常必要，否则更容易出现前述的相互缠绕干扰的问题。因此，需要一种结构紧凑小巧，操作简单、可行的测温装置，实现不被外界环境干扰，且热电偶之间能够独立地不受干扰地工...
【技术保护点】
一种气氛隔离的多点测温装置，包括一根气氛隔离用的气氛隔离保护套管，其特征在于，还包括通过组合固定手柄安装在气氛隔离保护套管内部的多点测温组件；所述多点测温组件包含多支测温用热电偶、一个用于分布所述热电偶的预制多芯管以及用于集成所述热电偶的热电偶接插件。
【技术特征摘要】
1.一种气氛隔离的多点测温装置，包括一根气氛隔离用的气氛隔离保护套管，其特征在于，还包括通过组合固定手柄安装在气氛隔离保护套管内部的多点测温组件；所述多点测温组件包含多支测温用热电偶、一个用于分布所述热电偶的预制多芯管以及用于集成所述热电偶的热电偶接插件。2.根据权利要求1所述的气氛隔离的多点测温装置，其特征在于所述预制多芯管上根据测温点的位置预开有若干个环形槽，每个环形槽对应一个测温点。3.根据权利要求2所述的气氛隔离的多点测温装置，其特征在于所述预制多芯管的管芯每相邻两个为一组，供一支热电偶穿过；其中两个管芯分布在预制多芯管的轴心处，为一组；其余管芯呈圆周等间距地分布在预制多芯管上，且穿过环形槽；所述管芯的总数量为偶数，且为测温点数的两倍。4.根据权利要求3所述的气氛隔离的多点测...
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