压力传感器制造技术

技术编号:7249426 阅读:177 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种压力传感器,其抑制了因容器及隔板而引起的压敏元件的热变形。本发明专利技术的压力传感器(10)的特征在于,具备:容器;受压单元,其形成容器的一部分,并受到力而向容器的内侧或外侧位移;支承单元(34),其从受压单元的边缘部(24c)起与受压单元的位移方向平行地延伸,并使端部向受压单元的中央部(24a)侧弯曲;压敏元件(40),其具有压敏部和分别连接在压敏部两端的第1及第2基部(40a、40b),第1及第2基部(40a、40b)的排列方向与受压单元的位移方向平行,将第1基部(40a)固定在受压单元的中央部(24a),将第2基部(40b)固定在支承单元(34)上,支承单元(34)在位移方向上连接材质不同的两个以上的构件,并将构件的长度比率调节为使支承单元(34)的热膨胀系数与压敏元件(40)的热膨胀系数相等。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具备压敏元件以及隔板的压力传感器,并涉及一种可减少由于温度变化而导致的测量误差的压力传感器。
技术介绍
作为将压电振子用于压敏元件中的压力传感器,具有专利文献1、2中的压力传感ο图7为在专利文献1中所公开的压力传感器的模式图。专利文献1中的压力传感器340具有由凸缘端板344、密封端子座346以及圆筒侧壁348所构成的空心圆筒体的外壳 342,并在凸缘端板344与密封端子座346的开口处安装有第1以及第2隔板350、352,通过该第1以及第2隔板350、352而将内外部隔断。在外壳342的内部配置有中心轴354,该中心轴邪4将第1以及第2隔板350、352的内表面的中央区域相互连接在一起。而且,以与中心轴邪4并行的方式,在其周围配置有多个支承棒36h、362b。在中心轴3 的中途一体地设置有作为压敏元件承接台的可动部356,且在该可动部356上安装有由双音叉振子构成的压敏元件358的一个端部,在该双音叉振子中,将检测轴设定为与垂直于隔板的受压面的轴并行。而且,压敏元件358的另一个端部被连接在密封端子座346的凸起部360上。 由此,当中心轴3M通过受压用的第1隔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:佐藤健太
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:

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