一种使用金刚石线切割的太阳能级硅晶片及其切割方法技术

本发明专利技术公开了一种使用金刚石线切割的太阳能级硅晶片及其切割方法，它采用金刚石线对单硅晶方棒进行切割，所述切割方法是：单硅晶圆棒经过开方、磨削和研磨加工后形成的单晶硅方棒进行粘棒，通过粘棒将单晶硅方棒固定在树脂条上，树脂条固定在粘料板上，再将粘料板连同单晶硅方棒放入工作舱内，预热并使切割液在工作舱循环工作，而后进行金刚石切割，将切割的单晶硅片倒置于脱胶设备上进行脱胶，再用超声波进行清洗，再进行甩干制造而成。本发明专利技术提高了单晶硅片的光电转化效率和切割效率，可生产厚度为140-200um的硅片，产品合格率达到98%以上；硅粉可以回收利用，节约了宝贵的硅资源，生产过程真正实现绿色生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种使用金刚石线切割的太阳能级单硅晶片及其切割工艺方法。
技术介绍
太阳能单晶硅片用于太阳能电池，单晶硅棒经线切割机加工成硅片。目前，市场上普遍采用NTC、MB和HTC的多线切割机进行切割加工，切割条件线切割钢线直径150um，主辊上开设的槽距为340um，这样的加工条件加工出来的太阳能单晶硅片厚度在200士20mm 的范围内，单片耗线量1. 06m,硅粉浪费40%。目前，高成本仍然是制约光伏发电大规模应用的主要障碍，在硅片生产环节，要求企业提高生产效率、降低加工损耗、硅片薄片化、提高光电转化效率，同时又要减少对环境的影响。如金刚石线切割技术在硅片生产中得到了一些应用，它主要用于单晶硅棒的开方， 但用金刚石线来切割硅片的工艺技术，目前仍然处于研发和小批生产阶段，硅晶片切割还是采用传统的切割工艺。传统切割工艺采用将碳化硅加入到切割液中形成游离式砂浆来进行线切割，在切割过程中，由于碳化硅在切割液中处于游离状态，在随切割线运动时自身也在运动，因而在切割的硅片面上会产生云哚式的切痕，使得硅片表面存在大量的损失层，降低了单晶硅片的光电转化效率，同时还表现有下列不足问题1、采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：于景，俞建业，曾斌，叶平，欧阳思周，汤玮，胡凯，
申请(专利权)人：江西金葵能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：