【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种自感知压电隔膜泵，由一个驱动－传感一体的复合型薄片式压电振子、一个泵体、一个泵盖、一组安装于泵体上的单向阀以及一个控制电源构成。其特征在于，所述复合型薄片式压电振子由ＰＺＴ压电晶片、金属基板和ＰＶＤＦ压电薄膜依次粘接而成，其中ＰＺＴ压电晶片和ＰＶＤＦ压电薄膜分别用于驱动和传感；其特征还在于，当所述ＰＺＴ压电晶片受外加电压作用发生弯曲变形时，所述ＰＶＤＦ压电薄膜也发生弯曲变形并产生电能，所产生的电压信号经转换处理后用于表征压电泵的输出压力和流量。
【技术特征摘要】
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