压电泵制造技术

一种压电泵，即便进行断续驱动，也能可靠地进行气体的排出及液体的输送。压电泵（１０１）包括：压电振子（６５）；因压电振子（６５）而弯曲变形的隔板（６４）；一个壁面由所述隔板（６４）构成的泵室（５２）；供液体、气体或液体与气体的混合体流入所述泵室（５２）的流入口（５１）；供所述流体从泵室排出的排出口（５３）；以及在与泵室（５２）的内表面之间产生间隙，通过毛细管现象或表面张力保持所述液体的液体保持用构件（５６）。在流路板（６２）中形成有流路用槽（５９）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
１．一种压电泵，其特征在于，包括：因施加交流电压而振动的压电振子；因所述压电振子而弯曲变形的隔板；至少一个壁面由所述隔板构成的泵室；供液体、气体或液体与气体的混合体即流体流入所述泵室的流入口；供所述流体从所述泵室排出的排出口；阻止所述流体朝所述流入口逆流及所述流体从所述排出口逆流的单向阀；以及设于所述泵室内，在与所述泵室的内表面之间产生的间隙内保持所述液体的液体保持用构件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：川村宪一郎，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP