弹性波装置具备：弹性波元件，包含元件基板、设置在元件基板上的压电体层、设置在压电体层上的功能电极、以及设置在压电体层上并与功能电极电连接的布线电极，在元件基板中，在沿着元件基板和压电体层的层叠方向观察的俯视下与功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部；安装基板，具有外部端子；金属凸块，将布线电极和外部端子连接；密封树脂，对弹性波元件以及金属凸块进行密封；以及衰减部，设置在元件基板的外表面中的、除了与压电体层的接触面以外的至少一部分，使无用波衰减。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及具备压电层(压电体层)的弹性波装置。
技术介绍
1、例如，在专利文献1公开了利用板波的弹性波装置。在专利文献1记载的弹性波装置具备支承体、压电基板、以及idt电极。在支承体设置有空洞部。压电基板设置在支承体上，使得与空洞部重叠。idt电极设置在压电基板上，使得与空洞部重叠。在弹性波装置中，通过idt电极来激励板波。空洞部的端缘部不包含与通过idt电极激励的板波的传播方向平行地延伸的直线部。
2、在先技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、近年来，要求能够在确保机械强度的同时使无用波衰减的弹性波装置。
3、本公开的目的在于，提供一种能够在确保机械强度的同时使无用波衰减的弹性波装置。
4、用于解决问题的技术方案
5、本公开的一个方式的弹性波装置具备：
6、弹性波元件，包含元件基板、设置在所述元件基板上的压电体层、设置在所述压电体层上的功能电极、以及设置在所述压电体层上并与所述功能电极电连接的布线电极，在所述元件基板中，在沿着所述元件基板和所述压电体层的层叠方向观察的俯视下与所述功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部；
7、安装基板，具有外部端子；
8、金属凸块，将所述布线电极和所述外部端子连接；
9、密封树脂，对所述弹性波元件以及所述金属凸块进行密封；以及
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p>10、衰减部，设置在所述元件基板的外表面中的、除了与所述压电体层的接触面以外的至少一部分，使无用波衰减。11、本公开的一个方式的弹性波装置具备：
12、弹性波元件，包含元件基板、设置在所述元件基板上的压电体层、设置在所述压电体层上的功能电极、以及设置在所述压电体层上并与所述功能电极电连接的布线电极，在所述元件基板中，在沿着所述元件基板和所述压电体层的层叠方向观察的俯视下与所述功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部；
13、安装基板，具有外部端子；
14、金属凸块，将所述布线电极和所述外部端子连接；
15、密封树脂，对所述弹性波元件以及所述金属凸块进行密封；以及
16、不同材料部，设置在所述元件基板的外表面中的、除了与所述压电体层的接触面以外的至少一部分，由与所述元件基板不同的材料构成。
17、本公开的一个方式的弹性波装置具备：
18、弹性波元件，包含元件基板、设置在所述元件基板上的压电体层、设置在所述压电体层上的功能电极、以及设置在所述压电体层上并与所述功能电极电连接的布线电极，在所述元件基板中，在沿着所述元件基板和所述压电体层的层叠方向观察的俯视下与所述功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部；
19、安装基板，具有外部端子；
20、金属凸块，将所述布线电极和所述外部端子连接；
21、密封树脂，对所述弹性波元件以及所述金属凸块进行密封；以及
22、凹凸部，设置在所述元件基板的外表面中的、除了与所述压电体层的接触面以外的至少一部分，由凹凸面构成。
23、本公开的一个方式的弹性波装置具备：
24、弹性波元件，包含元件基板、设置在所述元件基板上的压电体层、设置在所述压电体层上的功能电极、以及设置在所述压电体层上并与所述功能电极电连接的布线电极，在所述元件基板中，在沿着所述元件基板和所述压电体层的层叠方向观察的俯视下与所述功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部；
25、安装基板，具有外部端子；
26、金属凸块，将所述布线电极和所述外部端子连接；
27、密封树脂，对所述弹性波元件以及所述金属凸块进行密封；以及
28、低声阻抗部，设置在所述元件基板的外表面中的、除了与所述压电体层的接触面以外的至少一部分，由低声阻抗层构成。
29、在本公开的一个方式的弹性波装置的制造方法中，所述弹性波装置具备：
30、弹性波元件，包含元件基板、设置在所述元件基板上的压电体层、设置在所述压电体层上的功能电极、以及设置在所述压电体层上并与所述功能电极电连接的布线电极，在所述元件基板中，在沿着所述元件基板和所述压电体层的层叠方向观察的俯视下与所述功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部；
31、安装基板，具有外部端子；
32、金属凸块，将所述布线电极和所述外部端子连接；
33、密封树脂，对所述弹性波元件以及所述金属凸块进行密封；以及
34、衰减部，设置在所述元件基板的外表面中的、除了与所述压电体层的接触面以外的至少一部分，使无用波衰减，
35、其中，
36、通过激光照射在所述元件基板的内部形成所述衰减部。
37、在本公开的一个方式的弹性波装置的制造方法中，所述弹性波装置具备：
38、弹性波元件，包含元件基板、设置在所述元件基板上的压电体层、设置在所述压电体层上的功能电极、以及设置在所述压电体层上并与所述功能电极电连接的布线电极，在所述元件基板中，在沿着所述元件基板和所述压电体层的层叠方向观察的俯视下与所述功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部；
39、安装基板，具有外部端子；
40、金属凸块，将所述布线电极和所述外部端子连接；
41、密封树脂，对所述弹性波元件以及所述金属凸块进行密封；以及
42、衰减部，设置在所述元件基板的外表面中的、除了与所述压电体层的接触面以外的至少一部分，使无用波衰减，
43、其中，
44、通过化学蒸镀法对sio2进行成膜，由此形成所述衰减部。
45、在本公开的一个方式的弹性波装置的制造方法中，所述弹性波装置具备：
46、弹性波元件，包含元件基板、设置在所述元件基板上的压电体层、设置在所述压电体层上的功能电极、以及设置在所述压电体层上并与所述功能电极电连接的布线电极，在所述元件基板中，在沿着所述元件基板和所述压电体层的层叠方向观察的俯视下与所述功能电极的一部分重叠的位置设置有空洞部；
47、安装基板，具有外部端子；
48、金属凸块，将所述布线电极和所述外部端子连接；
49、密封树脂，对所述弹性波元件以及所述金属凸块进行密封；以及
50、衰减部，设置在所述元件基板的外表面中的、除了与所述压电体层的接触面以外的至少一部分，使无用波衰减，
51、其中，
52、在将进行了单片化的所述弹性波元件倒装芯片接合于所述安装基板的工序中，在所述元件基板的与所述层叠方向交叉的一对主面中的、与所述压电体层侧的一个主面相反侧的另一个主面，设置所述衰减部。
53、专利技术效果
54、根据本公开，能够提供一种能够在确保机械强度的同时使无用波衰减的弹性波装置以本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
5.一种弹性波装置，具备：
6.一种弹性波装置，具备：
7.一种弹性波装置，具备：
8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，
9.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，
10.根据权利要求1～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，
11.根据权利要求1～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，
12.根据权利要求1～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，
13.根据权利要求1～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，
14.根据权利要求13所述的弹性波装置，其中，
15.根据权利要求1～10、13以及14中的任一项所述的弹性波装置，其中，
16.根据权利要求1～10以及13～15中的任一项所述的弹性波装置，其中，
17.一种弹性波装置的制造方法，所述弹性波装置具备：
18.一种弹性波装置的制造方法，所述弹性波装置具备：
19.一种弹性波装置的制造方法，所述弹性波装置具备：
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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种弹性波装置，具备：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
5.一种弹性波装置，具备：
6.一种弹性波装置，具备：
7.一种弹性波装置，具备：
8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，
9.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，
10.根据权利要求1～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，
11.根据权利要求1～10中的任一项所述的弹性波装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：井上和则，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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