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本发明涉及一种自感知压电隔膜泵，至少包括一个复合型薄片式压电振子、一个泵体、一个泵盖、一组控制流体运动方向的单向阀以及一个控制电源。其特征在于，所述的复合型薄片式压电振子由ＰＺＴ压电晶片（用作驱动器）、金属基板和ＰＶＤＦ压电薄膜（用作传感器...
该专利属于浙江师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江师范大学授权不得商用。

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