【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．驱动－传感一体化压电晶片泵，至少包括一个由压电晶片和金属基板粘接而成的晶片型压电振子、一个泵体、一个泵盖、一组控制流体运动方向的单向阀以及一个控制电源；其特征在于，所述压电振子中压电晶片表面的电极被分割成驱动单元和传感单元两部分，当所述压电振子的驱动单元受外加电压作用发生弯曲变形时，所述传感单元压电陶瓷也发生弯曲变形并产生电能；其特征还在于，传感单元生成的电压信号经转换处理后用于表征压电泵的输出压力与流量。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王淑云，阚君武，程光明，温建明，张忠华，曾平，
申请(专利权)人：浙江师范大学，
类型：实用新型
国别省市：33
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