【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及含氟温室气体捕获,具体涉及一种捕获六氟乙烷的方法。
技术介绍
1、随着工业化进程的加快,全球温室效应成为日趋严重的问题,严重威胁到了人类社会。全氟碳化物(pfcs)是人造的一类具有极强温室效应的温室气体,这类化合物的大气寿命极长,对环境的影响时间也随之延长。
2、全氟化碳主要包括有四氟化碳(cf4)、六氟乙烷(c2f6)、八氟丙烷(c3f8)等,属于全球重点监管的含氟温室气体,全氟化碳的全球变暖潜势是二氧化碳的上千乃至上万倍,例如c2f6的变暖潜势就达到了12400(二氧化碳为1)。这些气体有着广泛的工业应用,其中,c2f6作为干法刻蚀气与清洗剂,被广泛应用于半导体等离子刻蚀中,然而c2f6的离子化率不到50%,剩下的则经过加氢燃烧后排入大气中,这造成了具有极高资源价值的c2f6的浪费,也增强了温室效应。如若能够对尾气中的c2f6进行有效的回收再利用,不仅可以获得较强的经济效益,也能够减缓全球温室效应。
3、当前,开发高效的含氟温室气体捕集技术具有非常重要的意义。
4、关于六氟乙烷吸附材
...【技术保护点】
1.一种捕获六氟乙烷的方法,其特征在于,包括:利用多孔材料和/或成型多孔材料吸附捕获六氟乙烷;
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述粘结剂为羟丙基纤维素;
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述成型多孔材料的粒径为1~2mm。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述多孔材料和/或成型多孔材料在用于吸附捕获六氟乙烷前先进行真空活化处理;
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述吸附的温度为-20~60℃,压力为0.5~10bar。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方
...【技术特征摘要】
1.一种捕获六氟乙烷的方法,其特征在于,包括:利用多孔材料和/或成型多孔材料吸附捕获六氟乙烷;
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述粘结剂为羟丙基纤维素;
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述成型多孔材料的粒径为1~2mm。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述多孔材料和/或成型多孔材料在用于吸附捕获六氟乙烷前先进行真空活化处理;
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述吸附的温度为-20~60℃,压力为0.5~10bar。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:吸附有六氟乙烷的多孔材料和/或成型多孔材料在...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨文磊,姜芸佳,胡宸豪,陈雨欣,张袁斌,汪玲瑶,
申请(专利权)人:浙江师范大学,
类型:发明
国别省市:
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