本发明专利技术提供一种利用工作流体开闭阀芯的调整阀装置。阀芯(310)具有利用阀杆(310c)连结阀芯头部(310a)和阀芯身部(310b)而成的构造。阀体(305)内置有能滑动的阀芯(310)和动力传递构件(320a)。通过将第一波纹管(320b)固定安装于动力传递构件(320a)和阀体(305)，相对于动力传递构件(320a)来说在与阀芯相反一侧的位置形成第一空间(Us)。通过将第二波纹管(320c)固定安装于动力传递构件(320a)和阀体(305)，相对于动力传递构件(320a)来说在靠阀芯一侧的位置形成第二空间(Ls)。根据自第一配管(320d)供给到第一空间(Us)内的空气与自第二配管(320e)供给到第二空间(Ls)内的空气间的比率，自动力传递构件(320a)将动力传递给阀芯头部(310a)，开闭输送通路(200a)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种利用空气等工作流体开闭阀芯的调整阀装置。
技术介绍
以往，有人提出在半导体制造装置、有机EUElectro Luminescence，电致发光) 装置、FPD(Flat Panel Display，平板显示器)装置等的制造装置中，为了进行在成膜等的制造中所用的流体的输送通路的开闭、流量调整而在输送通路上设置调整阀装置(参照专利文献1、2)。例如，在专利文献1、2所述的调整阀装置中，将波纹管的一端焊接于阀芯，将波纹管的另一端焊接于波纹管支架，由此利用波纹管划分出阀体内的输送通路与阀杆的周围空间，该阀体收纳有阀芯。在该状态下使阀芯滑动，使阀芯与输送通路的阀座面抵接或自阀座面离开，从而进行输送通路的开闭、流量调整。阀芯和阀座面例如由SUS等不锈钢、铝形成。专利文献1 日本特开平06-074363号公报专利文献2 日本特开平11-153235号公报专利技术要解决的问题但是，在进行阀芯的开闭动作时，因阀芯与阀座面之间的机械性的干涉、组装时所发生的阀芯与阀座面的微小的偏移，有时在阀芯的开闭部分发生泄漏。特别在以调整阀装置的内部达到300°C以上的工艺条件进行阀芯的开闭动作的情况下，泄漏的发生频率增加， 泄漏量增多。例如以在有机EL装置的输送通路上安装调整阀装置而利用调整阀装置开闭输送通路的情况为例进行说明。在蒸镀源蒸发后的成膜材料(有机分子)与载气一并通过输送通路而被输送至基板。在输送的过程中，考虑到附着系数，为了避免成膜材料附着于输送通路的内壁，需要使输送通路处于300°C以上的高温状态。由此，阀芯附近成为300°C以上的高温状态。当在该种状态下重复进行阀芯的开闭动作时，不仅发生机械性的干涉，而且受热量的影响在阀芯与阀座面之间发生摩擦、熔化，引发热粘、发热胶着。结果，在阀芯的开闭部分频繁发生泄漏，且泄漏量也增加。在将Ni-Co等的树脂涂覆在阀芯上的情况下，由于树脂的耐热温度低，因此当暴露于高温时，发生变形和熔化，由此发生热粘、发热胶着的可能性增加。结果，泄漏的发生频率更高，阀芯的开闭精度降低。
技术实现思路
因此，为了解决上述问题，本专利技术的目的在于提供一种能够使阀芯的构造、形状适当化、提高阀芯的开闭精度的调整阀装置。用于解决问题的方案S卩，为了解决上述问题，本专利技术提供一种调整阀装置，其包括阀芯，其是利用阀杆连结阀芯头部和阀芯身部而成的；动力传递构件，其借助上述阀杆与上述阀芯相连结，将动力传递给上述阀芯；阀体，其内置有能滑动的上述阀芯和能滑动的上述动力传递构件；第一波纹管，其通过将一端固定安装于上述动力传递构件，将另一端固定安装于上述阀体，相对于上述动力传递构件来说在与上述阀芯相反一侧的位置形成第一空间；第二波纹管，其通过将一端固定安装于上述动力传递构件，将另一端固定安装于上述阀体，相对于上述动力传递构件来说在靠上述阀芯一侧的位置形成第二空间；第一配管，其与上述第一空间相连通；第二配管，其与上述第二空间相连通，该调整阀装置根据自上述第一配管供给到上述第一空间内的工作流体与自上述第二配管供给到上述第二空间内的工作流体间的比率，自上述动力传递构件经由上述阀杆将动力传递给上述阀芯，从而利用上述阀芯头部对形成在上述阀体中的输送通路进行开闭。这样，如图5所示，利用第一波纹管320b而相对于动力传递构件320a在与阀芯 310相反一侧的位置形成第一空间Us，利用第一波纹管320b和第二波纹管320c而相对于动力传递构件320a在靠阀芯一侧的位置形成第二空间Ls。能够根据供给到该第一空间化内的工作流体和供给到第二空间Ls内的工作流体间的比率，使被第1空间和第二空间夹着的动力传递构件320a沿阀芯的关闭方向或打开方向滑动。该动力经由阀杆310c传递给阀芯头部310a。结果，能够利用阀芯头部310a开闭输送通路(去路200al和回路200a2)。阀芯既可以具有利用阀杆连结阀芯头部和阀芯身部而成的构造，也可以将阀芯头部和阀芯身部形成为一体构造。另外，上述阀杆贯穿在上述阀芯身部的长度方向的中央，插入到设于上述阀芯头部的中央的凹部中。此外，也可以在上述阀杆与设于上述阀芯头部的中央的凹部之间设有游隙。采用该种构造，通过控制图5的阀芯身部310b与阀杆310c的间隙而校正阀杆 310c的偏斜，并且在阀芯头部310a的凹部310al中设置游隙310a2，能够调整阀芯头部 310a的轴线的微量的偏离。由此，能够使阀芯头部310a与阀座面200a3无偏移地抵接，从而能够提高阀芯头部310a与阀座面200a3的密合性，防止泄漏。也可以将第三波纹管的一端固定安装于上述阀芯头部，将另一端固定安装于上述阀芯身部，从而隔断上述阀杆一侧的空间和上述输送通路一侧的空间。上述阀芯头部的与上述输送通路抵接的部分也可以是锥形，该抵接的部分与垂直于上述阀芯头部的前端面的线段所成锥形开度θ是40° 80°。上述阀芯头部的与上述输送通路抵接的部分也可以是圆弧状，是具有期望的曲率半径的构造。上述阀芯头部也可以是以维氏硬度为500HV以上的方式堆焊Mellite合金而得到的金属。也可以对上述阀芯头部实施钴合金系的堆焊。与上述阀芯头部抵接的上述输送通路的阀座面可以是以使维氏硬度大概为 200HV 400HV的方式利用表面抛光(sheet burnishing)加工进行了表面加工后得到的金属的面。上述调整阀装置可以用于进行将成膜被处理体的有机分子输送至被处理体附近的输送通路的开闭。上述调整阀装置也可以在内部为300°C以上的环境下使用。专利技术的效果如上所述，采用本专利技术，能够使阀芯的构造、形状适当化，提高阀芯的开闭精度。附图说明图1是本专利技术的一实施方式的6层连续成膜装置的概略立体图。图2是该实施方式的成膜单元的剖视图。图3是利用该实施方式的6层连续成膜装置形成的有机EL元件的示意图。图4是该实施方式的蒸镀源和输送通路的剖视图。图5是该实施方式的调整阀装置的剖视图。图6是表示用该实施方式的调整阀装置检测泄漏量后得到的结果的图。 具体实施例方式下面，参照附图详细说明本专利技术的一实施方式的调整阀装置。另外，在以下的说明和附图中，对于具有相同结构和功能的构成部件，标注相同的附图标记而省略重复说明另外，说明以下述顺序进行。1.利用调整阀装置的6层连续成膜装置的整体结构2. 6层连续成膜装置的成膜单元的内部结构3.成膜单元的调整阀装置的内部结构4.阀芯和阀座面的构造、形状、表面处理5.泄漏状态的检验6层连续成膜装置首先，关于采用本专利技术的一实施方式的调整阀装置的6层连续成膜装置，参照表示该6层连续成膜装置的大概结构的图1进行说明。6层连续成膜装置10具有矩形的真空容器Ch。真空容器Ch的内部由未图示的排气装置排气，维持成期望的真空状态。在真空容器Ch的内部并列配置有6个成膜单元20。 在相邻的成膜单元20之间分别设有隔壁板500。成膜单元20包括矩形的3个蒸镀源单元 100、连结管200、3个调整阀装置300和吹出机构400，该调整阀装置300与蒸镀源单元100 成对配置。蒸镀源单元100由SUS等金属形成。石英等难以与有机材料反应，因此也可以利用涂覆有石英等的金属来形成蒸镀源单元100。另外，蒸镀源单元100是使材料汽化的蒸镀源的一例，无需是单元型的蒸镀源，也可以是通常的坩本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种调整阀装置，其包括：阀芯，其是利用阀杆连结阀芯头部和阀芯身部而成的；动力传递构件，其借助上述阀杆与上述阀芯相连结，用于将动力传递给上述阀芯；阀体，其内置有能滑动的上述阀芯和能滑动的上述动力传递构件；第一波纹管，其通过将一端固定安装于上述动力传递构件，将另一端固定安装于上述阀体，相对于上述动力传递构件来说在与上述阀芯相反一侧的位置形成第一空间；第二波纹管，其通过将一端固定安装于上述动力传递构件，将另一端固定安装于上述阀体，相对于上述动力传递构件来说在靠上述阀芯一侧的位置形成第二空间；第一配管，其与上述第一空间相连通；第二配管，其与上述第二空间相连通，该调整阀装置根据自上述第一配管供给到上述第一空间内的工作流体与自上述第二配管供给到上述第二空间内的工作流体间的比率，自上述动力传递构件经由上述阀杆将动力传递给上述阀芯，从而利用上述阀芯头部对形成在上述阀体中的输送通路进行开闭。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：池田信一，山路道雄，谷川毅，金子裕是，八木靖司，小野裕司，大见忠弘，白井泰雪，
申请(专利权)人：株式会社富士金，国立大学法人东北大学，
类型：发明
国别省市：JP
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