晶片透镜制造方法及晶片透镜制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种能够容易地得到高精度晶片透镜的晶片透镜制造方法以及晶片透镜制造装置。本发明专利技术的晶片透镜制造方法，是在玻璃基板的至少一个面上设光固化性树脂制透镜部的晶片透镜制造方法，包括：分配工序，在持有与透镜部光学面形状相应的负片形状面的模具上滴下光固化性树脂；转印工序，在分配工序之后，按压树脂和基板进行转印；曝光工序，在转印工序之后对树脂照射光；脱模工序，在曝光工序之后，从玻璃基板脱模模具；在分配工序、转印工序、曝光工序及脱模工序中的至少一部分中进行减压。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及晶片透镜制造方法及晶片透镜制造装置。
技术介绍
光学透镜制造领域中，一直研讨对玻璃基板设由固化性树脂构成的透镜部由此得到耐热性高的光学透镜之技术(参照例如专利文献1)。作为应用了该技术的光学透镜制造方法一例，有下述方法被提案在玻璃基板表面成型多个由固化性树脂构成的光学部件，形成所谓的“晶片透镜”，然后按各透镜部切断玻璃基板。简单说明一下采用光固化性树脂作为固化性树脂时的晶片透镜的制造方法，先由真空夹盘装置吸引并固定玻璃基板，在该玻璃基板上滴下树脂(分配工序)。然后使玻璃基板向被配置在上方的模具上升，将树脂压入模具中(转印工序)。模具是具备腔的光透过性模具，由台架支撑固定。之后就此保持玻璃基板的高度位置，并从模具上方对充填在腔中的树脂照射光， 使树脂光固化(曝光工序)。然后边使玻璃基板下降边从模具脱模树脂(脱模工序)。这样，能够制造在玻璃基板上形成了多个透镜部的晶片透镜。玻璃基板和模具也可以上下倒置。先行技术文献专利文献专利文献1 特许第3拟6380号公报
技术实现思路
专利技术欲解决的课题但是，上述分配工序、转印工序、曝光工序及脱模工序通常都是在大气压下进行的，所以，分配工序和转印工序中树脂内容易混入气泡，结果腔内出现未充填处，存在问题。 另外，还存在曝光工序中树脂因受氧阻碍而树脂固化不充分、脱模工序中玻璃基板上方与下方区域产生差压而难以脱模等问题。因此，不能得到高精度晶片透镜。本专利技术鉴于上述情况，目的在于提供一种能够容易地得到高精度晶片透镜的晶片透镜制造方法以及晶片透镜制造装置。用来解决课题的手段根据本专利技术一方式，提供一种晶片透镜制造方法，是在基板的至少一个面上设光固化性树脂制光学部件的晶片透镜制造方法，其特征在于，备有分配工序，在持有与所述光学部件的光学面形状相应的负片形状面的模具上，滴下所述光固化性树脂；转印工序，在所述分配工序之后，按压被分配了所述光固化性树脂的所述模具和所述基板，进行转印；曝光工序，在所述转印工序之后，对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，在所述曝光工序之后，从所述基板脱模所述模具；在所述分配工序、所述转印工序、所述曝光工序及所述脱模工序中的至少一部分中进行减压。优选在所述分配工序中在减压之后向大气压开放。优选在所述转印工序中在减压之后向大气压开放。优选在所述曝光工序中在减压之后向大气压开放。优选在所述脱模工序中在减压之后向大气压开放。根据本专利技术另一方式，提供一种晶片透镜制造装置，其特征在于，备有收容体，上面开口，备有盖住该开口的盖部；模具，被配置在所述收容体内部，具有所定形状的腔；基板，在所述收容体内部被对着所述模具配置，将通过所述盖部而形成的所述收容体的内部空间分为上下；形成在所述模具和所述基板之间的下部空间部，与形成在所述基板和所述盖部之间的上部空间部互相连通，所述下部空间部或所述上部空间中的至少一方上设有减压该下部空间部或所述上部空间部的减压机构。专利技术效果根据本专利技术的晶片透镜制造方法，因为在分配工序、转印工序、曝光工序及脱模工序的至少一部分中减压，所以，在分配工序、转印工序中减压时，能够防止气泡混入树脂内。 另外，在转印工序中还能够防止基板翘曲变形。并且，在曝光工序中减压时，能够防止氧对树脂的阻碍，能够确切地固化树脂，在脱模中减压时，容易脱模。结果，能够容易地得到高精度的晶片透镜。根据本专利技术晶片透镜制造装置，因为下部空间部和上部空间部相互连通，下部空间部或上部空间部的至少一方上设有减压机构，所以，是下部空间部和上部空间部之间没有差压之构造。因此，能够通过加压机构工作容易地使两空间部处于减压状态，于是能够制造高精度晶片透镜。附图说明图1 :晶片透镜的概略结构平面示意图。图2 :晶片透镜的概略结构侧面示意图。图3 本专利技术优选实施方式的晶片透镜制造装置的概略结构立体图。图4 图3晶片透镜制造装置的平面图以及侧面图。图5 本专利技术优选实施方式中使用的X轴移动机构的概略结构示意图，是沿图4中 A-A线的截面图。图6 本专利技术优选实施方式中使用的Y轴移动机构的概略结构示意图，是沿图4中 B-B线的截面图。图7 本专利技术优选实施方式中使用的XY台和定盘内的概略结构截面示意图。图8 沿图7中C-C线的截面图。图9 本专利技术优选实施方式中使用的模具部的概略结构截面示意图。图10 图9的概略结构平面示意图。图11 本专利技术优选实施方式中，对着模具配置分配器时的概略结构截面示意图。图12 本专利技术优选实施方式中使用的概略的控制结构方框示意图。图13 本专利技术优选实施方式的晶片透镜制造方法的时序性说明概略流程。图14 从图13的分配工序向脱模工序过渡中的压力状态概略时选图。图15 本实施方式中用来调整玻璃基板与模具的平行度的结构概略说明图。图16 本实施方式中模具在二维平面上的坐标轴变换的概略说明图。具体实施例方式下面参照附图，对本专利技术的优选实施方式作说明。如图1、图2所示，成形后的晶片透镜1具有圆形状玻璃基板2和多个凸透镜部4。 玻璃基板2是基板一例。玻璃基板2表面上矩阵状地配置着多个凸透镜部4。凸透镜部4上可以在光学面表面形成衍射槽和台阶等微细构造。另外也可以是凹透镜。图1、图2表示制造工序的中途阶段，所以玻璃基板2表面只有一部分形成了凸透镜部4。本实施方式中，用模具单位对一张玻璃基板2依次形成凸透镜部4(请参照图1、图 2箭头所示)，最后按各凸透镜部4切断玻璃基板2进行单片化。对玻璃基板2形成凸透镜部4的顺序没有特别限定，可以串列逐次形成，也可以用与图1所示相反的绕行，依次形成等。凸透镜部4用光固化性树脂形成。作为该光固化性树脂可以采用例如丙烯酸树脂、烯丙酯树脂、PDMS及环氧树脂等，这些树脂能够通过原子团聚合、阳离子聚合反应固化。接下去对制造晶片透镜1时使用的晶片透镜制造装置(10)作说明。如图3、图4所示，晶片透镜制造装置10主要备有呈立方体状的定盘20 ；设在定盘20上的XY台30 ；用来使XY台30沿X轴方向移动的X轴移动机构100 ；用来使XY台30 沿Y轴方向移动的一对Y轴移动机构200。如图4、图5所示，X轴移动机构100具有延伸在X轴方向的X轴导向102。如图 5所示，在X轴导向102下方配置着XY台30。XY台30上形成了延伸在X轴方向的一对突条部31，X轴导向102被配置在突条部31之间。如图5所示，X轴移动机构100备有使XY台30实际上沿X轴方向移动的线性马达 110。线性马达110备有周知的机构，主要由固定子112、可动子114、刻度尺116、传感118 构成。固定子112被固定在X轴导向102上。可动子114被固定在XY台30的一个突条部31上，能够沿X轴导向102移动。刻度尺116被固定在X轴导向102上。传感118被固定在XY台30的另一个突条部31上。X轴移动机构100中，由传感118检测刻度尺116，同时可动子114沿固定子112 移动，由此，XY台30能够沿X轴导向102在X轴方向恰好移动所定距离。XY台30的各突条部31上设有空气滑行导向机构120。空气滑行导向机构120备有喷出空气的喷出孔122。空气滑行导向机构120从各喷出孔122向X轴导向102喷出空气，使XY台30相对X轴导向102浮起。XY台30下部设有多个空气滑行导向机构130。本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种晶片透镜制造方法，是在基板的至少一个面上设光固化性树脂制光学部件的晶片透镜制造方法，其特征在于，备有：分配工序，在持有与所述光学部件的光学面形状相应的负片形状面的模具上，滴下所述光固化性树脂；转印工序，在所述分配工序之后，按压被分配了所述光固化性树脂的所述模具和所述基板，进行转印；曝光工序，在所述转印工序之后，对所述光固化性树脂照射光；脱模工序，在所述曝光工序之后，从所述基板脱模所述模具；在所述分配工序、所述转印工序、所述曝光工序及所述脱模工序中的至少一部分中进行减压。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井雄一，
申请(专利权)人：柯尼卡美能达精密光学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP