两方向移动台制造技术

两方向移动台在用于焊接装置的ＸＹ台的Ｙ方向电机，设有Ｙ方向可动件（４３），其包括可动臂（４３ａ）和环状驱动线圈（４４），所述可动臂（４３ａ）一端固定在台，为沿着Ｙ方向延伸的纤维强化塑料的长方形截面管，在各短边侧面设有沿Ｙ方向延伸的开口（４３ｂ），与台一起，沿Ｘ、Ｙ方向移动，所述驱动线圈（４４）插入可动臂（４３ａ）的开口（４３ｂ），安装在可动臂（４３ａ），其局部从可动臂（４３ａ）的开口（４３ｂ）朝着可动臂的宽度方向突出。由此，使得焊接装置高速化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于焊接装置(bonding device)的两方向移动台的结构。
技术介绍
在引线焊接装置等焊接装置中，使用XY台，作为使得半导体装置等的焊接对象沿水平方向互相垂直相交的两方向即X方向及Y方向移动的两方向移动台。XY台包括下部台及上部台，所述下部台沿X方向被导向，通过X方向电机沿X方向移动，所述上部台由下部台上面的导向件沿Y方向导向，通过Y方向电机沿Y方向移动。上部台载置在沿X方向移动的下部台上，沿Y方向移动，因此，构成为能沿X、Y方向移动自如。在这种XY台中，为了使得定位高精度化，提出将Y方向电机的可动件与上部台连接固定(例如，参照专利文献1)。日本特开2002-3^772号公报但是，在专利文献1记载的以往技术的XY台中，Y方向电机的可动件与上部台连接固定，与上部台一起沿X方向移动。因此，使得下部台沿X方向移动的X方向电机，必须使得下部台、上部台、以及Y方向电机的可动件沿X方向移动，可是，Y方向电机的可动件的重量大场合，由于施加在X方向电机的载荷变大，加快下部台移动速度很困难，存在不能使得焊接装置高速化的问题。另外，在专利文献1记载的以往技术的XY台中，Y方向电机的可动件安装为从上部台的上面附近向着Y方向突出，因此，当沿Y方向驱动上部台时，Y方向电机的可动件从上部台受到Y方向的反力以及弯矩的反力，可动件因该弯矩发生振动，焊接时因该振动引起毛细管的推压载荷变化，存在焊接质量降低问题。Y方向电机的可动件的重量大场合，上部台往复动作包含的频率成份接近可动件的固有振动频率，因此，振动变得更大，存在焊接质量降低问题。并且，为了避免焊接质量降低，不能使得XY台的动作速度高速化，存在不能使得焊接装置高速化的问题。另外，专利文献1记载的Y方向电机的可动件将线圈安装在平板上，因此，当电流流过线圈时，线圈产生的热量扩散大多不充分，引起线圈温度上升，从而导致电阻增加，引起输出降低，或因线圈周边部件的热膨胀引起热位移，导致焊接精度低下，因此，难以流过大电流，存在使得Y方向可动件高速移动很困难的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，使得焊接装置高速化。为了解决上述课题的手段如下。本专利技术的两方向移动台，沿在同一平面内互相垂直相交的第一方向及第二方向的二个方向移动，该两方向移动台包括第一台，沿第一方向被导向，由第一电机沿第一方向驱动；第二台，由设在上述第一台上面的第二方向导向件沿第二方向导向，与上述第一台一起沿第一方向被驱动，同时，也由第二电机沿第二方向驱动；以及可动件(mover)，包括可动臂和环状驱动线圈，所述可动臂一端固定在上述第二台，沿着第二方向延伸的纤维强化塑料的长方形截面的中空体，在各短边侧面设有沿第二方向延伸的开口，与上述第二台一起，沿第一及第二方向移动，所述驱动线圈插入上述可动臂的上述各开口，安装在上述可动臂，其局部从上述可动臂的上述各开口朝着上述可动臂的宽度方向突出。在本专利技术的两方向移动台中，合适的是，上述可动件的上述可动臂的上述各开口的沿第二方向的长度比上述驱动线圈的与插入方向垂直方向的外形长度长，插入方向的上述驱动线圈的内径的长度比上述可动臂的宽度长，上述驱动线圈的内侧空间和上述可动臂外侧空间连通。又，在本专利技术的两方向移动台中，合适的是，包括直接将空气喷向上述可动件的上述驱动线圈的喷嘴。又，在本专利技术的两方向移动台中，合适的是，上述第一台为X台，上述第二台为Y台。下面说明本专利技术的效果。本专利技术具有能使得焊接装置高速化的效果。附图说明图1是本专利技术实施形态的XY台的平面图。图2是本专利技术实施形态的XY台的正面图。图3是设有本专利技术实施形态的Y方向可动件的XY台的侧面图。图4是表示本专利技术实施形态的XY台的Y方向可动件的立体图。图5是本专利技术另一实施形态的XY台的平面图。符号说明如下10 XY 台11 架台12台保持台13 下部台14，37 X方向导轨16,36,46 支架17 Y电机保持台18下部台传感器19上部台传感器21 上部台22，47 Y方向导轨23 螺栓30 X方向电机31 X方向电机定子32，42 永久磁铁33X 方向可动件(X-direction mover)34，44 线圈38X方向电机定子速度传感器40Y方向电机41Y方向电机定子43(Y-direction mover)43a 可动臂43b, 43e 开口43c孔43d 电缆43f 上面板43g 下面板43h侧板45内侧空间48Y方向电机定子速度传感器50动态减震器51平板52压重53连接片55喷嘴100引线焊接装置101焊接头102焊接臂103毛细管具体实施例方式下面，参照附图说明本专利技术合适的实施形态。如图1所示，引线焊接装置100的XY 台10沿着在平面上互相垂直相交的座标轴即X轴(X-X线方向)以及Y轴(Y-Y线方向) 的各方向，设有下部台13和上部台21，X方向电机30、Y方向电机40与各台连接，通过各方向的电机30，40驱动下部台13朝着X方向移动，上部台21朝着Y方向移动。另外，在上部台21上，安装使得安装在焊接臂102前端的毛细管103上下动作的焊接头101。如图1所示，焊接臂102的延伸方向为Y方向，其直角方向为X方向。如图2所示，X方向电机30通过X方向导轨37设置在架台11上面。X方向电机 30为音圈电机，众所周知，由具有永久磁铁32的X方向电机定子31，以及具有线圈34的X 方向可动件33构成。X方向可动件33由没有图示的X方向导向件保持在X方向电机定子 31的内侧，由此，X方向可动件33设为仅能沿X方向移动。X方向导向件系利用交叉滚子导向件等的公知的直动式装置。X方向电机定子31由X方向导轨37保持，使得能沿作为X 方向可动件33的驱动方向的X方向移动，而不能沿Y方向移动。在X方向可动件33的下部台13侧，设有支架36，该支架36通过螺栓与下部台13的支架16连接固定。下部台13通过X方向导轨14保持在台保持台12，使得能沿作为X方向可动件33的驱动方向的X方向移动，而不能沿Y方向移动，台保持台12固定在架台11。 在此，X方向电机定子31的重量比X方向可动件33和下部台13的重量、以及重量施加在下部台13上的Y方向可动件43、上部台21、焊接头101的重量的合计重量大。如图2所示，在架台11上，安装用于检测X方向电机定子31的X方向移动速度的 X方向电机定子速度传感器38，在台保持台12的上面，安装用于检测下部台13的X方向的位置及移动速度的下部台传感器18。如图3所示，Y方向电机40在架台11上面，通过Y电机保持台17以及Y方向导轨47保持为能沿Y方向移动。Y方向电机40为平面线性电机，由具有永久磁铁42的Y方向电机定子41以及具有图1所示线圈44的平板状的Y方向可动件43构成。如图3所示，在Y方向可动件43的上部台21侧，设有支架46，Y方向可动件43的支架46由螺栓23固定在上部台21上面。上部台21通过沿Y方向延伸的Y方向导轨22 保持在下部台13上。因此，上部台21构成为能与下部台13—起沿X方向移动，同时，能在下部台13上面沿Y方向移动，上部台21能沿X、Y两方向移动。另外，固定在上部台21的 Y方向可动件43也构成为能与上部台21 —起沿X、Y方向移动。如图1所示，Y方向电机定子41的作本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种两方向移动台，沿在同一平面内互相垂直相交的第一方向及第二方向的二个方向移动，该两方向移动台包括：第一台，沿第一方向被导向，由第一电机沿第一方向驱动；第二台，由设在上述第一台上面的第二方向导向件沿第二方向导向，与上述第一台一起沿第一方向被驱动，同时，也由第二电机沿第二方向驱动；以及可动件，包括可动臂和环状驱动线圈，所述可动臂为一端固定在上述第二台，沿着第二方向延伸的纤维强化塑料的长方形截面的中空体，在各短边侧面设有沿第二方向延伸的开口，与上述第二台一起，沿第一及第二方向移动，所述驱动线圈插入上述可动臂的上述各开口，安装在上述可动臂，其局部从上述可动臂的上述各开口朝着上述可动臂的宽度方向突出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：角谷修，
申请(专利权)人：株式会社新川，
类型：发明
国别省市：JP