【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
１．一种真空抽吸系统，所述真空抽吸系统包括真空泵，所述真空泵包括制冷器，所述制冷器包括：冷却级；气缸，所述气缸连接到所述冷却级的一个面；板件，所述板件连接到所述气缸的沿轴向方向在与所述气缸的连接到所述冷却级的所述一个端面相对侧上的另一个端面；空间，所述空间由所述冷却级、所述气缸和所述板件形成；流动路径，所述流动路径形成在所述板件上；阀，所述阀经由所述流动路径将所述气缸的内部设置在高压状态和低压状态之一中；以及活塞状位移器，所述位移器将所述空间的内部分隔成一个空间和与所述流动路径连通的另一个空间，所述位移器在所述气缸中沿轴向方向往复运动，并且包括保留一部分的热状态的材料，所述位移器在所述部分的中空内部中通过，在所述真空抽吸系统中，多个真空泵连接到共同的压缩机，所述多个真空泵中的至少一个执行操作以重复包括以下两个处理的操作，这两个处理为其中当所述气缸的内部由于所述阀的操作而从所述低压状态转变到所述高压状态时处于所述低压状态中的气体被绝热地压缩的处理、以及其中所述位移器通过被绝热地压缩的气体的处理，并且所述多个真空泵中的至少另一个执行操作以重复包括以下两个处理的操作，这两个处理为其中当所述气...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：冈田隆弘，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP
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