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各自都具有制冷器的多个真空泵连接到共同的压缩机。多个真空泵中的至少一个被操作以重复包括其中当气缸的内部由于阀的操作而从低压状态转变到高压状态时处于低压状态中的气体被绝热地压缩的处理以及其中位移器通过被绝热地压缩的气体的处理的操作。多个真空泵...
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