【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的公开内容涉及可含有非卷曲纤维的织物，例如非织造、织造或针织织物， 尤其由这种织物制造的化学机械平面化垫(planarization pad)。
技术介绍
非织造织物可理解为不通过常规织造或针织工艺制造的纺织品织物。可通过首先 铺列由多根连续长丝或非连续纤维组成的纤维垫(mat)，接着机械、热、化学或其结合，一起 粘结单独的长丝或纤维成所述非织造织物，从而制造非织造织物。在非织造工业中常用的 纤维可包括聚酯、聚烯烃、聚酰胺、聚乙烯醇、聚丙烯酸酯、纤维素、人造丝、聚氨酯、聚砜、聚 苯硫醚等。典型的纤维长度范围可以是大于和等于0. 05英寸，和更通常为0. 25英寸-3英 寸，和典型的纤维直径范围可以是大于和等于0. 1微米，和更通常为5-50微米。常规的非织造织物制造可由下述步骤组成从紧密堆积的包中取出纤维，在称为 “拆包”的工艺中分离大的纤维束，混合不同纤维类型(若使用两类或更多类纤维的话)，接 着“粗和细的纤维松散并共混”的工艺，之后通过常用方法，例如干法成网或气流成网工艺， 铺列纤维垫。所述铺列包含种纤维的垫的常见方法可包括(1)干法成网，其中可通...
【技术保护点】
１．用于半导体化学机械平面化的抛光垫，它包括：含垫子的织物，所述垫子含有合成纤维，其中所述纤维是非卷曲的纤维，其中所述非卷曲的纤维在所述垫子内的存在量为１．０ｗｔ％－９８．０ｗｔ％，和其中所述非卷曲的纤维的长度为０．１ｃｍ－１２７ｃｍ和直径为１．０－１０００微米。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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