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提供用于半导体制造的化学－机械平面化垫子。该垫子包括合成纤维，所述合成纤维是非卷曲的纤维，它在垫子内的存在量为１．０ｗｔ％－９８．０ｗｔ％，和其中非卷曲的纤维的长度为０．１ｃｍ－１２７ｃｍ和直径为１．０－１０００微米。...
该专利属于因诺派德公司所有，仅供学习研究参考，未经过因诺派德公司授权不得商用。

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