在下游制程中使用图案辨识来对准图案制造技术

揭示一种经改良且可降低制程费用的处理基板的方法，其例如是用以制造太阳能电池。使用光罩或不使用微影或光罩，在基板上形成掺杂区。在植入完成后，根据视觉辨认确定被植入的实际区。在后续处理中使用此信息来维持对准。这些信息也可以被反馈至离子植入设备以调整植入参数。这些技术也可以应用在其他离子植入机中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在下游制程中使用图案辨识来对准图案
技术介绍
一般来说，太阳能电池与其他半导体元件是以相同的制程制造，通常都是以硅为 基板材料。半导体太阳能电池是一种简单元件，其具有内建电场，所述内建电场用来分离半 导体材料中经由吸收光子所产生的电荷载子。一般来说，对半导体材料进行不同型态的掺 杂可以形成p-n接面(二极管)，而p-n接面形成电场。把相反极性的杂质掺杂于一部分的 半导体基板(亦即表面区)中可以形成P-n接面，而p-n接面可作为将光能转换成电能的 光电元件。图1为一个代表性基板100的剖面图，其包括太阳能电池。如箭头所示，光子10 经由上表面105进入太阳能电池100。光子通过抗反射涂层110，其中抗反射涂层110用来 增加穿透基板100的光子数量并且降低从基板反射出去的光子数量。在基板100的内部形成p-n接面120。接面和基板100的上表面105大致平行，但 是两者也有可能不平行。制造太阳能电池以使光子经由η型掺杂区进入基板，其中η型掺 杂区又称为射极区130。虽然在本说明书中是以叙述ρ型基极和η型射极为例，但是本说明 书的范围也涵盖使用η型基极和P型射极来制造太阳能电池。具有充足能量的本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种处理基板的方法，包括：植入离子至基板的一部分；利用侦测系统确定所述植入部分的实际位置；以及在后续处理步骤中利用所述实际位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：保罗·J·墨菲，
申请(专利权)人：瓦里安半导体设备公司，
类型：发明
国别省市：US