用于锯割电子元件的设备和方法技术

本发明专利技术涉及一种用于分离电子元件（２）的设备，其设有锯割装置（Ａ）和定位装置（Ｂ），其中，在所述定位装置（Ｂ）和所述锯割装置（Ａ）之间限定了至少一个转移位置（５），用于转移定位后的电子元件（２）。本发明专利技术进一步包括了一种用于分离电子元件（２）的设备（１），其设有锯割装置（Ａ）、检验装置（Ｄ）和分类装置（Ｅ），其中，在所述检验装置和所述分类装置之间限定了至少一个转移位置（３６），用于转移分离后的电子元件（２）。最后，本发明专利技术还涉及了一种用于分离电子元件（２）的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及了一种用于分离电子元件的设备，该设备具有A)用于锯割所述电子 元件的锯割装置，所述锯割装置包括两个相互平行且可旋转并且其上安装有锯条的传动 轴；以及一用于啮合、传送所述电子元件并使所述电子元件与所述锯条产生相对移动的锯 床机械手，以及B)用于在待分离电子元件进给到所述锯割装置之前对所述待分离电子元 件进行校准的定位装置，所述定位装置包括至少一个用于检测进给的待分离电子元件位置 的摄像头。
技术介绍
组合电子元件的分离具有广泛的应用，例如，晶片的分离和带有电子元件的载板 (又称引线框架或引线板)的分离，其中，电子元件可以选择性地封装有某一材料，比如固 化环氧树脂。分离后的电子元件通常仅有数毫米大小，其中电子元件进一步小型化已经是 一种趋势。基于上述情况，已知的分离方法是使用具有一根或多根旋转锯条的锯床来锯割 待加工产品。一机械手将所述电子元件组合拾起，抓牢，定位，并使其与锯条产生沿着理想 切割线的相对移动，从而对所述电子元件组件进行锯割。在锯割过程中，所述电子元件由所 述机械手固定就位。因为通常会在产品上留下多道平行的锯痕，所以，已知申请了一种具有分别由两 个不同主轴带动的两根平行锯条的分离设备，这样便可按照待加工产品的尺寸大小以及形 成上述锯痕的锯割方式来对锯条之间的距离进行调整。虽然现有设备功能完善，但其价格 相对昂贵，并且其容量也极为有限。
技术实现思路
本专利技术目的在于提供一种基于前文所述类型改良的设备及方法，使用该设备及方 法能够以有限的额外费用来实现容量的大幅度增加。以此为目的，本专利技术提供了一种前文所述类型的设备，其中，在所述定位装置(B) 和所述锯割装置(A)之间限定了至少一个转移位置，用于在所述定位装置(B)和所述锯割 装置(A)之间转移定位后的电子元件。在本文中，用于将待分离电子元件进行校准的所述 定位装置将包括一单独的定位机械手，用于啮合、传送所述待分离电子元件并使所述待分 离电子元件与所述摄像头产生相对移动。在所述定位装置和所述锯割装置之间将限定至少 一转移位置，该转移位置可以接近所述定位机械手，从而可以通过所述定位机械手来传送 待分离电子元件，并且，该转移位置也可以接近所述锯床机械手，从而使所述定位机械手传 送的待分离电子元件与所述锯床机械手相互啮合。不同于现有技术，此种分离设备具有两 个单独的机械手(即定位机械手和锯床机械手)，借助该两个单独的机械手可实现子过程 的连续操作。迄今为止，在转移已啮合的待分离电子元件(和分离后的电子元件)方面仍然存 在很多阻力，因为该转移过程是一个关键工艺步骤，需要精密的操作。未在分离工艺完成之前不释放啮合的电子元件还有另外一个原因，即好不容易完成的对所述电子元件的定位 有可能会因此而失去效果；将啮合的电子元件抓牢也就保证了所述电子元件的位置不会改 变。尽管在不转移啮合的电子元件的条件下进行定位和锯割操作会有诸多好处，但本专利技术 可以证明借助单独的机械手来完成子过程仍然会有利于执行这些子过程。由电子元件转移 带来的不利因素要多于由此带来的好处所能够补偿的。目前，所述定位装置和所述锯割装 置可以至少部分地进行并行操作，这样可以极大地减少所述分离设备的周期时间。迄今为 止，定位和锯割操作需要先后进行(即串行操作)，这种情况下的周期时间要至少等于定位 操作所需的全部时间加上锯割所需的时间。根据本专利技术，整个操作过程所需的时间不再由 上述两处理时间之和来决定，而是由所述两子周期时间中较长的那个来决定。尽管会使用 到一些更昂贵的模件，但是它们可以更好地被利用，因此单位加工产品的成本将会降低。在一特定的实施例变型中，所述电子元件经过一(第一)暂放位置从所述定位机 械手转移至所述锯床机械手，所述定位机械手会将所述电子元件暂时放置于该位置上，然 后再由所述锯床机械手将所述电子元件抓牢。借助这样一个暂放位置，所述定位机械手和 所述锯床机械手就不必彼此连接而直接转移所述电子元件，所述电子元件可以暂时放置于 该位置上，然后再被拾起。这样便实现了定位和锯割操作过程的分解，并且会产生更深远的 影响。采用暂放位置带来的另外一个好处是，当(根据一优选变型)所述暂放位置可移动 时，所述暂放位置还可以用于定位。例如，在由所述锯床机械手啮合所述电子元件之前，所 述电子元件已在所要求的定位操作过程中被检测到了不符合要求的位置变化，而供所述电 子元件使用的一暂放位置恰好在该平面上(有限范围内)可移动，那么该暂放位置就可以 用来补偿检测到的不符合要求的位置变化。还应该注意的是，所述定位过程可以由一个单 独的摄像头来支持，尽管在实际情况中通常会使用多个摄像头以达到相同的目的，例如实 施某一阶段性的校准操作(预校准操作和最终校准操作)时。对于其他连接设备而言，还 有可能采用最优方式来连接所述设备。在一优选实施例中，所述分离设备还具有一清洗装置，用于对所述锯割装置加工 的分离后的电子元件进行清洗。所述清洗装置包括一使用清洗液对分离后的电子元件进行 洗涤的洗涤系统，以及一用于啮合、传送所述分离后的电子元件并使所述分离后的电子元 件与所述洗涤系统产生相对移动的清洗机械手，其中，在所述锯割装置(A)和所述清洗装 置(C)之间限定了至少一个转移位置，用于在所述锯割装置(A)和所述清洗装置(C)之间 转移锯割后的电子元件。在本文的一优选变型中，还有可能在所述锯割装置和所述清洗装 置之间选择性地插入至少一(第二)暂放位置，该暂放位置可以接近所述锯床机械手，从而 可以通过所述锯床机械手来将锯割后的电子元件暂时放置于该位置上，并且，该暂放位置 也可以接近所述清洗机械手，从而可以通过所述清洗机械手将所述锯床机械手放置的锯割 后的电子元件拾起。或者，还可以使用所述清洗机械手直接从所述锯床机械手转移所述电子元件，这 样便不需要设置单独的暂放位置。根据上述两种变型，(使用清洗液)对所述锯割后的电 子元件的清洗(通常还会结合对清洗后的电子元件的干燥)也可以是独立于所述锯割操作 的一个单独过程，因此所述清洗操作同样可以与所述锯割操作并行执行。同样，所述电子元 件(经锯割后，通常会包括大量的分离的电子元件，一般置于一基体内)再次从所述锯床机 械手转移至所述清洗机械手，其中可以选择性地通过一暂放位置。该从所述锯床机械手转移至所述清洗机械手的过程同样具有如上所述的从所述定位机械手转移至所述锯床机械 手的过程所带来的好处。在另一改良的实施例变型中，所述分离设备还具有一检验装置，用于检验由所述 清洗装置处理的清洗和分离后的电子元件。所述检验装置包括至少一用于检验所述清洗和 分离后的电子元件的检验摄像头，以及一用于啮合、传送所述清洗和分离后的电子元件并 使所述清洗和分离后的电子元件与所述检验摄像头产生相对移动的检验机械手，其中，在 所述清洗装置(C)和所述检验装置(D)之间限定了至少一个转移位置，用于在所述清洗装 置(C)和所述检验装置(D)之间转移清洗后的电子元件。该(第三)转移位置可以接近所 述清洗机械手，从而可以通过所述清洗机械手来传送清洗后的电子元件，并且该转移位置 也可以接近所述检验机械手，从而可以通过所述检验机械手将所述清洗机械手传送的清洗 后的电子元件抓牢。在本文的一优选变型中，还有可能在所述清洗装置和所本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于分离电子元件的设备，其设有：Ａ）用于锯割所述电子元件的锯割装置，其包括：两个相互平行且可旋转并且其上安装有锯条的传动轴，以及一用于啮合、传送所述电子元件并使所述电子元件与所述锯条产生相对移动的锯床机械手；以及Ｂ）用于在待分离电子元件进给到所述锯割装置之前对所述待分离电子元件进行校准的定位装置，其包括：至少一个用于检测进给的待分离电子元件的位置的摄像头，以及一用于啮合、传送所述待分离电子元件并使所述待分离电子元件与所述摄像头产生相对移动的定位机械手；其中，在所述定位装置（Ｂ）和所述锯割装置（Ａ）之间限定了至少一个转移位置，用于在所述定位装置（Ｂ）和所述锯割装置（Ａ）之间转移定位后的电子元件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：F·H·因特费尔德，
申请(专利权)人：飞科公司，
类型：发明
国别省市：NL