【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅料线切割废砂浆的回收再利用领域,具体为一种。
技术介绍
无论是单晶硅还是多晶硅、半导体硅还是太阳能用晶体硅,在流入下一步的使用之前都必须经过切割,而现有切割技术中,线切割是最佳的选择,该方法具有精度高、成品率高、效率高、损耗小等优点。线切割的原理是用碳化硅和聚乙二醇分散液配制成具有一定粘稠度的砂浆,砂浆在高速运动的钢丝带动下,砂浆中的碳化硅与待切割料局部高速摩擦,因碳化硅的硬度比待切割料高出甚多,碳化硅可以刮下一层待切割料,随着砂浆离开,完成切割过程。硅料的切割中,大量的硅粉和少量的钢丝金属屑流回到砂浆中,使得砂浆的性质逐渐发生变化,切割效率下降,最终成为废砂浆。分析表明,废砂浆中分散液40 46% wt,碳化硅45 50% wt,硅6 7% wt,金属1 2% wt,而硅料在切割过程中,约有44%变成硅粉进入砂浆中,因此,以中国2010年晶体硅使用量40000吨计算,每年中国会产生含17600吨硅、125700吨碳化硅、115600吨的废砂浆,这些废砂浆根据中华人民共和国污水综合排放标准(GB8978 - 1996)规定,已经超过第二类污染物的 ...
【技术保护点】
1.一种从硅料线切割废砂浆中回收碳化硅、高纯硅和分散液的方法,其包括如下步骤:步骤1)、固液分离;步骤2),使用去离子水对步骤1)的滤渣进行反复清洗、过滤,第一遍水洗滤液保留;步骤3),将步骤2)的保留滤液减压蒸馏,提取分散液聚乙二醇;步骤4),将步骤3)提取的聚乙二醇与步骤1)滤液合并,二次减压蒸馏后,添加添加剂,按比例与新分散液混合,用于配制新砂浆;步骤5),将步骤2)的滤渣烘干、压碎,用比重2.35~2.9的浮选液在超声波震荡辅助下进行浮选,上层固体主要成份为硅和微量碳化硅,下层固体主要成份为碳化硅和少量线锯铁屑以及精密粘附的硅;步骤6),将步骤5)的下层固体经过2~ ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘荣隆,郑敏,吴雄德,
申请(专利权)人:矽明科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:HK
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