包埋镧铝合金纳米团蔟的金属陶瓷太阳能吸收涂层及方法技术

本发明专利技术涉及一种选用镧铝(LaAl)合金的金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层及其制备方法。该涂层自基底向上依次包括镧铝合金反射层薄膜、氮化镧铝金属陶瓷内包埋稀土镧铝合金纳米团簇的太阳能吸收层薄膜和氮化镧铝减反射层薄膜。该方法采用现有的采用单室单靶或多靶设备，直接用镧铝合金靶，根据所设定的工艺条件及参数，溅射生成所述涂层。与现有技术相比，本发明专利技术所述涂层的热稳定性好、制造工艺简单、生产效率高、对太阳光谱300nm至红外光谱具有选择性吸收功能，在太阳辐射区域有强烈的吸收。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于太阳能光热吸收薄膜
，特别涉及将具有高熔点特性之稀土金属-金属合金(RE-M)生成的纳米团蔟包埋在氮化物金属陶瓷中的新型光热功能薄膜及其制备技术。
技术介绍
氮化物或氧化物金属陶瓷薄膜具有优异的光学性能，如Ti02，AlN, Al2O3，TiN等等，各自具有特定的光谱性能。像TiO2薄膜对紫外光吸收，而可见光可以通过；TiN和AlN 等薄膜对太阳光谱是完全透明的。氮化物或氧化物金属陶瓷薄膜虽然各自有特定的光谱性能，但是，通过特殊的处理，采用掺杂、离子注入、包埋选定的元素团蔟等等手段，可以改变金属陶瓷薄膜的光学性能。目前大批量生产的商用太阳能选择性吸收薄膜基本上有两种方法，这两种方法都是基于金属陶瓷薄膜包埋金属纳米团簇的原理，均采用磁控溅射方法实现。一种是称为铝-氮-铝(Al-N-Al)的太阳能选择性吸收薄膜，它是金属铝元素按照设定的比例包埋在氮化铝金属陶瓷中。由这种选择性吸收薄膜为主制备的太阳能集热器涂层结构为在基体上制备铜 (Cu)或铝(Al)金属反射层薄膜，其上制备氮化铝包埋铝金属纳米团簇(Al-N-Al)的金属陶瓷选择性吸收薄膜层，最后是氮化铝(AlN)减本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种包埋镧铝合金纳米团蔟的金属陶瓷太阳能吸收涂层，该涂层为多层复合结构，自基底向上依次包括金属反射层薄膜、太阳能吸收层薄膜和减反射层薄膜，其特征在于，所述金属反射薄膜为镧铝合金ＬａＡｌ反射层薄膜，所述太阳能吸收层薄膜为氮化镧铝ＬａＡｌＮ金属陶瓷内包埋镧铝合金ＬａＡｌ纳米团簇ＬａＡｌ－Ｎ－ＬａＡｌ的太阳能吸收薄膜，所述减反射层薄膜为氮化镧铝ＬａＡｌＮ减反射层薄膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐新建，宋宗恩，孙绍銮，
申请(专利权)人：日出东方太阳能股份有限公司，
类型：发明
国别省市：32