悬浮薄膜型可见光图像到红外图像转换芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种悬浮薄膜型可见光图像到红外图像转换芯片，能够实现可见光图像到红外图像的转换，达到大幅度提高动态红外图像生成装置的性能指标并降低成本的目的；该芯片包括衬底和薄膜像元阵列，衬底是由导热性极好的材料制成的，衬底上设计有多个开孔，各开孔等间距排列，在每个开孔上覆盖一块薄膜，各薄膜相互独立，所有相同的薄膜构成薄膜像元阵列，每个开孔的另一侧允许可见光通过；薄膜为在所述衬底上进行碳化或沉积形成高可见光吸收率物质；或者，薄膜为在所述衬底上镀制或悬浮高可见光透过率膜，在该高可见光透过率膜上涂覆红外辐射膜而形成的物质；薄膜的形状为方形、圆形或多边形。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及动态红外图像生成
，具体涉及一种悬浮薄膜型可见光图像到红外图像转换芯片。
技术介绍
红外场景产生技术是红外成像制导半实物仿真系统的核心技术，对红外成像制导技术半实物系统仿真有及其重要的作用。动态红外场景产生技术在实验室条件下模拟红外目标和背景的红外辐射特性，为被测试的红外图像传感器提供实时红外目标和背景的红外图像源。动态红外图像生成技术可归纳为直接辐射型图像转换器和辐射调制型图像转换ο对于直接辐射型图像转换器来说，其成像像元自身产生辐射，辐射强度由计算机图像生成系统控制。直接辐射型图像转换器主要有电阻阵列、激光二极管阵列、红外阴极射线管、Bly元件和热电器件等。对于辐射调制型图像转换器来说，其实际上是空间光调制器，计算机图像生成系统控制对器件的读出光进行空间强度调制，辐射调制型图像转换器主要有液晶光阀、可变形反射镜阵列、薄膜空间光调制器等。在上述这些转换器中，只有液晶光阀、Bly元件、电阻阵列、可变形反射镜阵列和激光二极管阵列在红外图像系统半实物仿真试验中得到实际应用。其中电阻阵列和Bly元件又是较为常用的器件。电阻阵列通过电阻单元内的控制电路控制流过每个电阻的本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．悬浮薄膜型可见光图像到红外图像转换芯片，其特征在于，包括衬底（１）和薄膜像元阵列（３），其中：所述衬底（１）是由导热性极好的材料制成的，衬底（１）上设计有多个开孔（４），各开孔（４）等间距排列，在每个开孔（４）上覆盖一块薄膜（２），各薄膜（２）相互独立，所有相同的薄膜（２）构成薄膜像元阵列（３），每个开孔（４）的另一侧允许可见光通过。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钱丽勋，李卓，韩阶平，范增名，吴峰霞，
申请(专利权)人：北京理工大学，北京金盛微纳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：11