液体过滤设备和方法技术

本发明专利技术提供一种具有便于从设备内清除气泡的内部流动通道的液体过滤设备。该设备包括内部通道，用于从进入过滤设备内的流体中收集气泡，并在操作期间更有效地引导流体从设备内清除气泡。本发明专利技术也提供一种自动装置，用于减少排出操作期间流体的损失。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

位于麻萨诸塞州拜德福特的迈克里斯公司(Mykrolis Corporationof Bedford，Massachusetts)所销售的注册商标为IMPACTLVHD的过滤器具有低滞留体积(hold volume)，由于该设备所过滤的工艺流体的成本高，这一点对于光致抗蚀剂、电介质、抗反射的和光盘材料非常有利。所述IMPACT LVHD过滤器提供卓越的过滤，以阻止工艺流体内的漂浮物(debris)被沉淀在基片上，阻止形成缺陷。作者为M.Clarke和Kwok-Shun Cheng、名称为“用于工艺改进的新的光化学过滤技术”、迈克里斯公司文档号为No.MA068的应用说明书详细地公开了IMPACT LVHD过滤器的特性和优点。这篇文章最初于1997年11月10日召开的“INTERFACE 97’Poster session”会议上被公开。通过http//www.mykrolis.com/micro/appnoteliq.nsf/docs/48LQ63的网址，从互联网上可以得到这篇文章。作者为M.Clarke名称为“具有IMPACT ST歧管的改进的光刻蚀法设备OEE”、迈克里斯公本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有便于从设备内清除气泡的内部流动通道的液体过滤设备，该设备包括： 一壳体，所述壳体包括： .筒体； .罩； .盖，所述盖具有内和外表面，其特征在于被用作流体入口、出口和排气口的开口，从而采用形成流体通道的方式组合所述罩、盖和筒体，这种通道便于从设备内清除气泡并使气泡趋向排气口， 所述通道包括： .将流体引导到壳体上具有排气口部分的流体通道； .引导流体扫过筒体底部的流体通道； .引导流体扫过罩下表面的流体通道。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：梅尔拉弗迪尔，迈克尔克拉克，
申请(专利权)人：迈克里斯公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]