真空移动装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种真空移动装置，用于在一真空腔中移动一移动对象，其包括至少一个设于该真空腔中的两端封闭的波纹管，每个波纹管的一端均固设于该真空腔中、另一端则均与该移动对象相连，每个波纹管中均充有介质、且均通过管道与该真空腔外的一介质源连通，该介质源通过独立地控制每个波纹管中的介质压强使各个波纹管进行伸缩。本发明专利技术还公开了一种利用上述真空移动装置实现的真空移动方法。本发明专利技术设计简单、实用可靠，能够极大地降低真空移动装置的设计难度以及实现成本，并且还有利于实现该移动对象的更加灵活复杂的移动方式。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种真空中的机械运动装置，特别是涉及一种真空移动装置以及相应的真空移动方法。
技术介绍
为了使得真空环境中的移动对象，例如一真空腔中的一工件支架，能够按照制程要求进行移动，目前普遍采用的真空移动装置的结构如图1所示，其中，一移动对象1’位于一真空腔2’中，为了实现该移动对象1’的可控移动，该真空腔2’的一侧腔壁21’上设有一开口 22’，一波纹管3’的封闭的一端与该移动对象1’相连、而敞开的另一端则密封地环设于该开口 22’的周缘处，利用该波纹管3’便实现了该真空腔2’中的真空环境与大气环境之间的隔离，另外，一传动装置4’则穿设于该波纹管3’中并与该移动对象1’相连，当该传动装置4’由一驱动装置(图中未示)，例如一步进电机驱动，从而沿着箭头A’所示的方向往复移动时，该移动对象1’便会在该传动装置4’的带动下同样地沿着箭头A’所示的方向往复移动。另外，由于波纹管的波纹状管壁是可以任意伸展或褶皱的，因此波纹管是可以任意伸缩的，只要该伸缩不超过其伸缩极限，则波纹管将能够在该移动对象的往复移动过程中，始终保持该真空腔2’与大气环境之间的良好隔离。然而，上述设计中仍然存在着比较严重的缺陷一，为了确保该传动装置4’在该波纹管3’中的灵活移动，该开口 22’的尺寸必然是比较大的，并且还需要将该波纹管3’的敞开的一端密封地环设于该开口 22’的周缘处，这样一来，不但需要对原有的真空腔结构进行较大的修改，从而使得现有的该真空移动装置结构复杂、成本较高，而且还有可能增加该真空腔2’上的其它真空装置的设计难度；二，该传动装置4’需要从大气环境中伸进该真空腔2’中才能够对该移动对象1’的移动进行控制，而由于该真空腔2’的一侧腔壁21’的阻挡，将会使得该移动对象1’能够实现的移动方式较为受限。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中的真空移动装置设计复杂、成本较高且能够实现的移动方式有限的缺陷，提供一种简单可靠、且能够实现移动对象在真空中的灵活复杂移动的真空移动装置以及相应的真空移动方法。本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的一种真空移动装置，用于在一真空腔中移动一移动对象，其特点在于，其包括至少一个设于该真空腔中的两端封闭的波纹管，每个波纹管的一端均固设于该真空腔中、另一端则均与该移动对象相连，每个波纹管中均充有介质、且均通过管道与该真空腔外的一介质源连通，该介质源通过独立地控制每个波纹管中的介质压强使各个波纹管进行伸缩。较佳地，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力不为零、但相对于该旋转中心的合力矩为零。较佳地，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力为零、但相对于该旋转中心的合力矩不为零。较佳地，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力不为零、且相对于该旋转中心的合力矩也不为零。较佳地，该真空移动装置还包括设于该真空腔中的一导轨，用于对该移动对象的移动进行引导。本专利技术的另一技术方案为一种利用上述真空移动装置实现的真空移动方法，其特点在于，利用该介质源独立地控制每个波纹管中的介质压强以使各个波纹管进行伸缩， 并利用所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力以及合力矩，使该移动对象进行平移和/或转动。较佳地，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力不为零、但相对于该旋转中心的合力矩为零。较佳地，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力为零、但相对于该旋转中心的合力矩不为零。较佳地，该移动对象具有一旋转中心，将各个波纹管中的介质压强以及各个波纹管与该移动对象的相连位置设置为所有波纹管的伸缩对该移动对象施加的作用力的合力不为零、且相对于该旋转中心的合力矩也不为零。较佳地，该真空移动装置还包括设于该真空腔中的一导轨，利用该导轨对该移动对象的移动进行引导。本专利技术的积极进步效果在于本专利技术设计简单、实用可靠，由于本专利技术无需对原有的真空腔结构进行例如设计大尺寸开口之类的较大修改，而是仅需通过管道将该真空腔内的波纹管与该真空腔外的一介质源连通即可，这能够极大地降低本专利技术的该真空移动装置的设计难度以及实现成本。另外，在本专利技术中仅通过对波纹管中的介质压强的控制，便能够实现对该移动对象的移动的控制，这样一方面由于省去了原先的驱动装置、传动装置等结构，因而驱动成本较低，另一方面，由于是直接利用位于该真空腔内的波纹管对同样位于该真空腔内的移动对象的移动进行控制，因此驱动过程不再会受到该真空腔的腔壁的限制， 有利于实现该移动对象的更加灵活复杂的移动方式。附图说明图1为现有的一真空移动装置的结构示意图。图2为本专利技术的该真空移动装置的实施例一的结构示意图。图3为本专利技术的该真空移动装置的实施例二的结构示意图。图4为本专利技术的该真空移动装置的实施例三的结构示意图。图5为本专利技术的该真空移动装置的实施例四的结构示意图。具体实施例方式下面结合附图给出本专利技术较佳实施例，以详细说明本专利技术的技术方案。参考图2-5，本专利技术的该真空移动装置用于在一真空腔1中移动一移动对象2，该真空腔1可以为例如一真空制程腔，而该移动对象2则可以为例如一用于承载工件接受加工处理的工件支架，为了能够例如按照制程要求在预设工位处对工件实现预设角度的高精度加工，该移动对象2需要能够在该真空腔1中实现各种灵活复杂的移动方式。为了实现对该移动对象2的移动的控制，本专利技术的该真空移动装置特别地包括有至少一个波纹管3，所有的波纹管3均位于该真空腔1内。每个波纹管3均两端封闭，并且在实际应用中，每个波纹管3的其中一端将作为固定端3a，而另一端则将作为移动端:3b，这将在下文中进行详细说明。每个波纹管3的固定端3a均固设于该真空腔1内，例如可以固设于该真空腔1内的任意位置处的任意组件上，当然也可以固设于该真空腔1的腔壁上，而每个波纹管3的移动端北则均与该移动对象2相连。另外，每个波纹管3均通过管道与该真空腔1外的一介质源(图中未示)连通，从而每个波纹管3的内部均将充满介质，并且该介质源还能够对充进每个波纹管3内部的介质的量进行独立控制，也就是说，该介质源能够对每个波纹管3内部的介质压强进行独立控制，其中，该介质可以为例如气体或液体，而该介质源则可以为例如一高压气源等等。由于波纹管的管壁呈波纹状，因此其管壁可以在伸缩极限内任意地伸展或褶皱，当该介质源调低一波纹管3内部的介质压强时，其管壁便会随之褶皱，从而使得该波纹管3收缩，由于该波纹管3的固定端3a是固定不动的，因此该收缩动作便会沿着该波纹管3的伸缩方向将该移动对象2拉向该波纹管3的固定端3a ’类似地，当该介质源调高一波纹管3内部的介质压强时，其管壁便会随之伸展，从而使得该波纹管3伸长，该伸长动作将会沿着该波纹管3的伸缩方向将该移本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种真空移动装置，用于在一真空腔中移动一移动对象，其特征在于，其包括至少一个设于该真空腔中的两端封闭的波纹管，每个波纹管的一端均固设于该真空腔中、另一端则均与该移动对象相连，每个波纹管中均充有介质、且均通过管道与该真空腔外的一介质源连通，该介质源通过独立地控制每个波纹管中的介质压强使各个波纹管进行伸缩。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈炯，
申请(专利权)人：上海凯世通半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：31