新型磁传动转动机构制造技术

技术编号:7067215 阅读:228 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种新型磁传动转动机构,属于真空技术领域。包括隔板、磁性材料部件、精密转轴、轴承,所述精密转轴设在隔板的两侧,转动扭力利用磁场从外面通过密封隔板传到真空中来。本实用新型专利技术的有益效果是结构简单合理,便于安装维修,没有隙漏发生,真空可以稳定控制,可以采用无极调速、可以正反相旋转。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空
,具体是一种新型磁传动转动机构
技术介绍
随着科学技术的发展,对真空系统的要求越来越高,这也意味着对包括真空转动传动机构在内的真空零部件的隙漏率要求越来越高。真空技术和真空零部件关键关键技术不仅仅是隙漏率,还在于它们高可靠性。传统真空转动传动机构的动密封解决方案,包括骨架油封解决方案、ο型圈密封方案和磁流体解决方案等等。骨架油封解决方案和ο型圈密封方案存在隙漏率问题、可靠性问题。磁流体解决方案存在成本高,可靠性问题;尤其在潮湿地区和有水蒸气的环境寿命很短。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于提供一种结构简单、安装维修方便、可靠性强、成本适中的新型磁传动转动机构。为了实现上述目的,本技术采用如下技术方案一种新型磁传动转动机构,其特征在于所述磁传动机构包括隔板,所述隔板两侧设有上轴承和下轴承,所述上轴承设有上精密转轴,所述下轴承设有下精密转轴,所述上精密转轴和下精密转轴均设有磁性材料部件,利用磁性材料部件的吸引力或互斥力来传动扭力,转动扭力利用磁场从外面通过密封隔板传到真空中来。所述隔板优选不锈钢炉体或不锈钢板,还可选用其他金属或非金属材料。当有转动动作需要传递时,转动一侧固定在上轴承上的上精密转轴时,上精密转轴所带的磁性材料部件也跟随转动,由于吸引力或排斥力的作用,沿着隔板对称设置的磁性材料部件、下精密转轴也跟随转动,就可以带动下精密转轴所连接的部件的转动。本技术所述的新型磁传动转动机构可用于包括滚珠轴承结构在内的其他一切轴承结构之中。本技术的有益效果是结构简单合理,便于安装维修,不存在动密封的缺点、无隙漏可靠性高,成本适中。附图说明图1是本技术结构示意图。图中1-隔板21-磁性材料部件22-磁性材料部件31-上轴承32-下轴承41-上精密转轴42-下精密转轴具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本技术。如图1所示,一种新型磁传动转动机构,所述磁传动机构包括隔板1,所述隔板1两侧对称设有上轴承31和下轴承32,所述上轴承31设有上精密转轴41,所述下轴承32设有下精密转轴42,所述上精密转轴41和下精密转轴42均设有磁性材料部件21、磁性材料部件22,利用磁性材料部件的吸引力或互斥力来传动扭力,转动扭力利用磁场从外面通过密封隔板传到真空中来。所述隔板1选用不锈钢炉体或不锈钢板,对于隔板的选材不做任何限定,除示出的不锈钢炉、不锈钢板之外的其他金属或者非金属材料也可称为隔板的替代方案。当有转动动作需要传递时,转动一侧固定在上轴承31上的上精密转轴41时,上精密转轴41所带的磁性材料部件21也跟随转动,由于吸引力或排斥力的作用,沿着隔板1对称设置的磁性材料部件22会带动下精密转轴42转动,所述下精密转轴42带动与下精密转轴所连接的部件的转动。本技术的机构设计成功应用于离子镀膜中磁传动高压电极;成功应用于硅单晶区熔设备的辅助家人装置和废料接料盒装置。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解,本技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理,在不脱离本技术精神和范围的前提下,本技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。权利要求1.一种新型磁传动转动机构,其特征在于所述磁传动机构包括隔板,所述隔板两侧对称设有上轴承和下轴承,所述上轴承设有上精密转轴,所述下轴承设有下精密转轴,所述上精密转轴和下精密转轴均设有磁性材料部件。2.根据权利要求1所述新型磁传动转动机构,其特征在于所述隔板为不锈钢炉体或不锈钢板。专利摘要本技术公开了一种新型磁传动转动机构,属于真空
包括隔板、磁性材料部件、精密转轴、轴承,所述精密转轴设在隔板的两侧,转动扭力利用磁场从外面通过密封隔板传到真空中来。本技术的有益效果是结构简单合理,便于安装维修,没有隙漏发生,真空可以稳定控制,可以采用无极调速、可以正反相旋转。文档编号F16H49/00GK202118205SQ20112018757公开日2012年1月18日 申请日期2011年6月3日 优先权日2011年6月3日专利技术者张玉春, 董湧法 申请人:上海涌真机械有限公司本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种新型磁传动转动机构,其特征在于:所述磁传动机构包括隔板,所述隔板两侧对称设有上轴承和下轴承,所述上轴承设有上精密转轴,所述下轴承设有下精密转轴,所述上精密转轴和下精密转轴均设有磁性材料部件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:董湧法张玉春
申请(专利权)人:上海涌真机械有限公司
类型:实用新型
国别省市:31

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