本发明专利技术提供一种含磷废水处理装置，其特征在于，其具备用于对用不同于含氟废水的系统回收的含磷废水进行中和的中和槽、用于使利用上述中和槽进行了中和处理的废水中所含的磷化合物凝聚的凝聚槽、将上述凝聚槽的废水分离为处理水和含有磷化合物的污泥的沉淀槽、和对在上述沉淀槽中沉淀的污泥的至少一部分进行脱水的脱水机。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。
技术介绍
液晶面板的制造工序中有对形成于玻璃基板上的栅电极等金属膜进行刻蚀的工序等各种刻蚀工序，作为其刻蚀液使用磷酸等含磷的酸性药品。所使用的酸性药品有时也直接以液体的状态进行回收、循环使用，但由于多数情况是与其他药品混合后使用，因此多利用废水处理装置进行无害化处理。作为对该含磷的废水进行无害化的方法，有效的是利用碱剂的中和处理，特别是作为碱剂(或中和剂)广泛使用消石灰(氢氧化钙)。作为利用这种方法使处理水的磷浓度达到放流标准以下的技术，例如有与PH调节剂一起添加金属成分为铁的金属盐等无机系凝聚剂、将磷成分凝聚化的技术。但是，这种处理中，无机系凝聚剂所含的金属离子会作为污泥中的杂质存在，在此状态下作为废弃物进行处置时存在问题，当然也无法将污泥转用为肥料。另外，作为对不仅含磷、还含氟的废水进行处理的技术，有向含氟和磷的废水提供钙化合物以形成沉淀物的技术、在通过对处理水进行固液分离所分离的分离水中添加铝化合物以形成沉淀物的技术。但是，为了不仅处理磷、还要处理氟，需要提供大量的钙化合物， 而且会产生大量的污泥。另外，氟或铝作为污泥中的杂质存在，在此状态下直接作为废弃物进行处置时存在问题，当然也无法将污泥转用为肥料。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开平11-333467号公报专利文献2 日本特开2008-194585号公报
技术实现思路
专利技术预解决的课题本专利技术的目的在于提供能够对杂质少且含高浓度的磷的污泥进行回收的。用于解决课题的方法本专利技术提供一种含磷废水处理装置，其特征在于，其具备用于对用不同于含氟废水的系统回收的含磷废水进行中和的中和槽、用于使利用上述中和槽进行了中和处理的废水中所含的磷化合物凝聚的凝聚槽、将上述凝聚槽的废水分离为处理水和含有磷化合物的污泥的沉淀槽、和对在上述沉淀槽中沉淀的污泥的至少一部分进行脱水的脱水机。本专利技术还提供一种含磷废水处理装置，其特征在于，其具备用于将用不同于含氟废水的系统回收的含磷废水暂时存储的第1原水槽、用于对从上述第1原水槽送液的含磷废水进行中和的中和槽、用于使利用上述中和槽进行了中和处理的废水中所含的磷化合物凝聚的凝聚槽、将上述凝聚槽的废水分离为处理水和含有磷化合物的污泥的沉淀槽、对在上述沉淀槽中沉淀的污泥的至少一部分进行脱水的脱水机、将有机系废水暂时存储的第2 原水槽、将从上述第2原水槽送液的有机系废水和在上述沉淀槽中分离的处理水混合的pH 调节槽、和对从上述PH调节槽送液的处理水进行生物学处理的生物学处理槽。本专利技术还提供一种含磷废水处理方法，其特征在于，向用不同于含氟废水的系统回收的含磷废水中注入中和剂以使磷化合物析出，向利用上述中和剂进行了中和处理的废水中注入高分子凝聚剂以使磷化合物凝聚，将利用上述高分子凝聚剂进行了凝聚处理的废水分离为处理水和含有磷化合物的污泥，然后对所分离的污泥的至少一部分进行脱水、回收。附图说明图1为概略地表示本实施方式的含磷废水的处理装置的构成的图。图2为用于说明生成含磷废水的过程的图。具体实施例方式以下参照附图详细地对本实施方式进行说明。需要说明的是，对各图中发挥相同或类似功能的构成要素使用相同的参照符号，并省略重复的说明。图1为概略地表示本实施方式的含磷废水的处理装置1的构成的图。即。这里所示的含磷废水处理装置1具备原水槽11、中和槽12、凝聚槽13、沉淀槽14和脱水机15。原水槽(第1原水槽)11将送液至中和槽12的含磷废水暂时存储。这种含磷废水为用不同于含氟废水的系统进行回收而得到的。这里的含磷废水例如是刻蚀液等的废水， 在不会与氢氟酸等含氟废水混合的情况下进行回收。即，在存储于该原水槽11的含磷废水中不含氟。当然，该含磷废水中也不含重金属。该原水槽11借助于用来对含磷废水进行送液的流路Pl与中和槽12相连接。其中，还可设置向从原水槽11送液至中和槽12的含磷废水中注入pH调节剂的pH 调节剂注入装置21。该pH调节剂注入装置21中，例如注入硫酸作为pH调节剂。这种pH 调节剂注入装置21 —边监视通过流路Pl送液的含磷废水的pH、一边向含磷废水中适当地注入pH调节剂。中和槽12用于对从原水槽11送液的含磷废水进行中和。中和剂注入装置22向中和槽12中注入中和剂。中和剂为碱性，例如为消石灰(氢氧化钙)。中和剂注入装置22 一边监视中和槽12的含磷废水的pH等、一边向含磷废水中适当地注入中和剂。该中和槽 12借助于用来对经过中和处理的废水进行送液的流路P2连接于凝聚槽13。凝聚槽13用于使利用中和槽12进行了中和处理后送液的废水中所含的磷化合物凝聚。高分子凝聚剂注入装置23向凝聚槽13中注入高分子凝聚剂。高分子凝聚剂例如以丙烯酰胺和丙烯酸钠的共聚物为主成分。即，本实施方式中，完全不使用无机系的凝聚剂。 该凝聚槽13借助于用来对废水进行送液的流路P3连接于沉淀槽14。沉淀槽14将从凝聚槽13送液的废水分离为处理水和含有磷化合物的污泥。该沉淀槽14中，处理水和污泥通过重力的作用而分离。该沉淀槽14借助于流路P4连接于脱水机15。另外，该沉淀槽14借助于流路P5连接于中和槽12。5脱水机15对在沉淀槽14中沉淀的污泥的至少一部分进行脱水。即，将在沉淀槽 14中沉淀的污泥的至少一部分供至脱水机15。在脱水机15中对从沉淀槽14供给的污泥进行脱水。由此，含有磷化合物的污泥的回收成为可能。其中，在沉淀槽14中沉淀的污泥的一部分还可借助于流路P5返送至中和槽12。另一方面，在沉淀槽14中从污泥分离的处理水(即上清水)根据需要被供至后段。这里，沉淀槽14借助于用来对处理水进行送液的流路P6连接于pH调节槽32。在图1所示的例子中，含磷废水处理装置1还具备原水槽31、pH调节槽32及生物学处理槽33。原水槽(第2原水槽)31将有机系废水暂时存储。这种有机系废水例如为显影液或剥离液的淋洗水等。该原水槽31与原水槽11分别地设置。该原水槽31借助于用来对有机系废水进行送液的流路P7连接于pH调节槽32。pH调节槽32将从原水槽31送液的有机系废水和在沉淀槽14中分离的处理水相混合。PH调节剂注入装置41将pH调节剂注入到pH调节槽32中。pH调节剂例如为硫酸或氢氧化钠。PH调节剂注入装置41 一边监视pH调节槽32的混合水的pH、一边向混合水中适当地注入PH调节剂。该pH调节槽32借助于用来对经过pH调节的处理水进行送液的流路P8连接于生物学处理槽33。即，该pH调节槽32位于沉淀槽14和生物学处理槽33之间。生物学处理槽33对从pH调节槽32送液的处理水进行生物化学处理。更具体地说，在该生物学处理槽33中利用细菌等微生物将有机物分解，并将处理水所含的磷消耗。 由此，经过该生物学处理槽33的处理水的磷浓度降低至放流标准以下，变得能够放流。图2为用于说明生成存储于原水槽11中的含磷废水的过程的图。在原水槽11的前段设置刻蚀槽。这里所示的例子中，第1刻蚀槽51和第2刻蚀槽52设置在原水槽11的前段。第1刻蚀槽51借助于用来对含磷排水进行送液的流路Pll 连接于原水槽11。第2刻蚀槽52借助于用来对含磷排水进行送液的流路P12连接于原水槽11。在第1刻蚀槽51和第2刻蚀槽52中存储含有刻蚀所用的乙酸、硝酸和磷酸的废水。这种废水含本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种含磷废水处理装置，其特征在于，其具备：用于对用不同于含氟废水的系统回收的含磷废水进行中和的中和槽；用于使利用上述中和槽进行了中和处理的废水中所含的磷化合物凝聚的凝聚槽；将上述凝聚槽的废水分离为处理水和含有磷化合物的污泥的沉淀槽；和对在上述沉淀槽中沉淀的污泥的至少一部分进行脱水的脱水机。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：塚田和顺，佐藤雅昭，
申请(专利权)人：东芝移动显示器有限公司，
类型：发明
国别省市：JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。