【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。
技术介绍
液晶面板的制造工序中有对形成于玻璃基板上的栅电极等金属膜进行刻蚀的工序等各种刻蚀工序，作为其刻蚀液使用磷酸等含磷的酸性药品。所使用的酸性药品有时也直接以液体的状态进行回收、循环使用，但由于多数情况是与其他药品混合后使用，因此多利用废水处理装置进行无害化处理。作为对该含磷的废水进行无害化的方法，有效的是利用碱剂的中和处理，特别是作为碱剂(或中和剂)广泛使用消石灰(氢氧化钙)。作为利用这种方法使处理水的磷浓度达到放流标准以下的技术，例如有与PH调节剂一起添加金属成分为铁的金属盐等无机系凝聚剂、将磷成分凝聚化的技术。但是，这种处理中，无机系凝聚剂所含的金属离子会作为污泥中的杂质存在，在此状态下作为废弃物进行处置时存在问题，当然也无法将污泥转用为肥料。另外，作为对不仅含磷、还含氟的废水进行处理的技术，有向含氟和磷的废水提供钙化合物以形成沉淀物的技术、在通过对处理水进行固液分离所分离的分离水中添加铝化合物以形成沉淀物的技术。但是，为了不仅处理磷、还要处理氟，需要提供大量的钙化合物， 而且会产生大量的污泥。另外，氟或铝作为污泥中的杂质存在，在此...
【技术保护点】
１．一种含磷废水处理装置，其特征在于，其具备：用于对用不同于含氟废水的系统回收的含磷废水进行中和的中和槽；用于使利用上述中和槽进行了中和处理的废水中所含的磷化合物凝聚的凝聚槽；将上述凝聚槽的废水分离为处理水和含有磷化合物的污泥的沉淀槽；和对在上述沉淀槽中沉淀的污泥的至少一部分进行脱水的脱水机。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：塚田和顺，佐藤雅昭，
申请(专利权)人：东芝移动显示器有限公司，
类型：发明
国别省市：JP
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