【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种按权利要求1前序部分所述的用于真空压力测量的电容式压力传感器。
技术介绍
众所周知，利用弹性薄膜结构做成一个可变电容结构，当弹性薄膜片在收到压力作用的情况下，产生挠曲性的变化，利用其挠曲度的变化，用一个已知和适用的方法结算与压力变化相适应的电容变化，根据这一原理，人们运用了各种材料制造出了不同结构的用于真空压力测量的电容式压力传感元件。例如选用硅材料和玻璃衬底，以硅膜片作为压力感受膜片的压力传感元件，在真空运用时，不可能在测量较低压力时，实现很高的分辨率， 而且受环境因素影响也大。为此，人们选用了各种合金或陶瓷材料制造出了各种不同结构的用于真空压力测量的传感元件，如美国MKS公司专利技术生产的，利用合金材料制成一个密封的外壳，内置一块陶瓷材料的电极板，用一张合金材质的膜片作为压力感受膜片，且构成了一个可变电容结构，极板和压力感受膜片间的距离依靠一个压环弹簧固定，容易产生松动，从而影响了该传感器元件长期工作的稳定性，而德国莱宝公司专利技术生产的完全使用陶瓷材料构造的、此类用于真空压力测量的传感元件，虽然避免了以上不足，制造出了一种相对固定的可变电...
【技术保护点】
１．用于真空压力测量的电容式压力传感器其特征在于设有：带有一个用玻璃和耐蚀性合金的合成件制成的电容电极体（１），以固定的并保持一定位移距离的，在其边缘处密封布置的，由耐蚀性合金制成的压力感受膜片（２），这样在其间构成了一个基准真空室（１８），其中电容电极体（１）和膜片（２）固定地并保持一定位移距离地玻璃表面涂有金属导电层，就构成了测量电容，由耐蚀性合金制成的第二壳体（３）对膜片（２）在边缘处密封布置并与其形成了一个真空压力测量室（１９），连接管（６）导入该室与被测介质连通。
【技术特征摘要】
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